Измерения электрических характеристик

KLA-Tencor RS-200

KLA-Tencor RS-200
KLA Corporation

Описание оборудования

Основанная на проверенных отраслевых стандартах удельного сопротивления, обеспечивает точное и надежное измерение удельного сопротивления при технологической норме от 45 нм и более. Эта система измерения удельного сопротивления обеспечивает такие функции, как современная автоматизация и улучшенная производительность для удовлетворения сегодняшних производственных требований для 300-мм пластин.

Точные и повторяемые измерения удельного сопротивления, карты удельного сопротивления до 1 мм от края проводящей пленки и полностью автоматическая работа обеспечивают улучшенные характеристики как для пластин 200 мм, так и 300 мм.

Запатентованная температурная компенсация обеспечивает точность, долговременную повторяемость и соответствие системы для системы / Fab-to-fab для современных производственных требований.

Cистема измерения удельного сопротивления RS-200 включает в себя простое в использовании программное обеспечение, основанное на операционной системе Windows, что позволяет ускорить настройку измерений и анализ данных.

Candela CS20 является высокочувствительным измерительным оборудованием, которое может быть многократно использовано для контроля различных стадий контроля процесса производства в автоматическом режиме без необходимости длительного ручного контроля.

Запатентованная система анализатора оптической чувствительности комбинирует многоканальную детекторную систему для измерения рассеяния света, коэффициента отражения, фазового сдвига, а так же изменений топографии на поверхности пластины.

Система Candela 8420 быстро сканирует поверхность пластины и представляет информацию в виде изображения 100% поверхности пластины в высоком разрешении. Получаемое изображение позволяет измерение как характеристик всей пластины в целом, так и рассмотрение мелких дефектов.

Для инспекции поверхности многочисленные измерения делаются одновременно, а затем анализируются на предмет наличия дефектов и их классификации. Методика инспекции позволяет использовать переменные критерии распознавания визуальных образов дефектов.

Расходные материалы и аксессуары

К расходным материалам и аксессуарам
Мы предлагаем широкий выбор расходных материалов и аксессуаров для зондовой атомно-силовой и электронной микроскопии по категориям:
Похожее оборудование
4Dimension 120-серия — Ручной измеритель удельного сопротивления
Многофункциональный измеритель сопротивления, идеально подходящий для проведения научно-исследовательской работы, связанной с измерением электрических характеристик материалов с высокой точностью.
233AC Измеритель электрического сопротивления
Система измерения электрического сопротивления четырехзондовым методом, является автоматизированной версией 280-й серии и предназначена для работы с кассетной загрузкой пластин.
280I-серия для измерения удельного сопротивления
Настольная система для измерения удельного сопротивления серии 280I обладает широким функционалом, охватывающим большинство задач, связанных с измерением удельного сопротивления полупроводниковых пластин.
Four Dimensions CVmap
Ртутные зонды, позволяющие проводить измерение электрических характеристик полупроводниковых пластин без нанесения металлизации.
KLA-Tencor RS-75
Эта модель специально ориентирована на применение в производстве для контроля широкого спектра технологических операций.
KLA-Tencor RS-100
Установка рассчитана на применение в условиях серийного производства, обладает функцией автоматической загрузки и сортировки пластин по результатам контроля, пригодна для измерений пластин до 300 мм.
Холловский измеритель HL9900
Предназначен для измерения удельного сопротивления, подвижности и концентрации носителей при комнатной температуре и при температуре жидкого азота в полупроводниковых структурах на основе Si, GaAs, InP, SiC, GaN.
Электрохимический профилометр ECV-Pro
Предназначен для спектроскопических исследований полупроводниковых материалов.

Сервис и ремонт измерительного оборудования

Выезд сервис-инженера
В кратчайшие сроки к вам приедет наш сервисный инженер для проведения ремонта.
Сервисный договор
Обслуживание «под ключ»: график выездов, экстренные выезды,склад запчастей «быстрого реагирования».
Диагностика и ремонт
Ремонтируем аналитическое и лабораторное оборудование всех ведущих марок, как представляемых эксклюзивно нами, так и сторонних производителей.
Гарантия и качество
Большой опыт оказания услуг по сервисному обслуживанию и ремонту измерительного оборудования.
Сервис оборудования

ФОРМА ДЛЯ
ОБРАТНОЙ СВЯЗИ

Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.

Напишите свой вопрос, укажите интересующее оборудование.

Наша почта
sales@imc-systems.ru
Наш телефон
+7 (495) 374-04-01