Измерения электрических характеристик

KLA-Tencor RS-100

KLA-Tencor RS-100
KLA Corporation

Описание оборудования

В течение уже почти двух десятилетий, приборы серии KLA-Tencor OmniMap являются «промышленным стандартом» для измерений удельного сопротивления и проводимости в ходе производства полупроводниковых пластин. Популярность оборудования обусловлена высокой точностью и воспроизводимостью измерений, высокой пропускной способностью контроля, а также новыми возможностями, такими как: автоматизация контроля и возможость для удовлетворения самых требовательных запросов (в т.ч. и для 300 мм технологии).

KLA-Tencor OmniMap RS100 — современная система для прецезионного измерения удельного сопротивления полупроводниковых пластин в широком диапазоне. Рассчитана на применение в условиях серийного производства, обладает функцией автоматической загрузки и сортировки пластин по результатам контроля, пригодна для измерений пластин до 300 мм.

Спектр применения KLA-Tencor OmniMap RS100 — от контроля нанесения металлизации, результатов химико-механической планаризации, ионной имплантации — до возможности оборудования измерять такие материалы как поликремний, медь и толстые кремниевые пластины.

Все это вместе делает оборудование незаменимым для измерений в процессе промышленного производства, контроле отклонения от технологического процесса, а также квалификации работы другого технологического оборудования.

Особенности:

  • высокая точность и воспроизводимостью измерений,

  • высокая пропускная способность контроля,

  • автоматизация контроля,

  • поддержка 300 мм технологии.

Расходные материалы и аксессуары

К расходным материалам и аксессуарам
Мы предлагаем широкий выбор расходных материалов и аксессуаров для зондовой атомно-силовой и электронной микроскопии по категориям:
Похожее оборудование
4Dimension 120-серия — Ручной измеритель удельного сопротивления
Многофункциональный измеритель сопротивления, идеально подходящий для проведения научно-исследовательской работы, связанной с измерением электрических характеристик материалов с высокой точностью.
233AC Измеритель электрического сопротивления
Система измерения электрического сопротивления четырехзондовым методом, является автоматизированной версией 280-й серии и предназначена для работы с кассетной загрузкой пластин.
280I-серия для измерения удельного сопротивления
Настольная система для измерения удельного сопротивления серии 280I обладает широким функционалом, охватывающим большинство задач, связанных с измерением удельного сопротивления полупроводниковых пластин.
Four Dimensions CVmap
Ртутные зонды, позволяющие проводить измерение электрических характеристик полупроводниковых пластин без нанесения металлизации.
KLA-Tencor RS-75
Эта модель специально ориентирована на применение в производстве для контроля широкого спектра технологических операций.
KLA-Tencor RS-200
Полностью автоматическая работа обеспечивают улучшенные характеристики как для пластин 200 мм, так и 300 мм. Обеспечивает точное и надежное измерение удельного сопротивления при технологической норме от 45 нм и более.
Холловский измеритель HL9900
Предназначен для измерения удельного сопротивления, подвижности и концентрации носителей при комнатной температуре и при температуре жидкого азота в полупроводниковых структурах на основе Si, GaAs, InP, SiC, GaN.
Электрохимический профилометр ECV-Pro
Предназначен для спектроскопических исследований полупроводниковых материалов.

Сервис и ремонт измерительного оборудования

Выезд сервис-инженера
В кратчайшие сроки к вам приедет наш сервисный инженер для проведения ремонта.
Сервисный договор
Обслуживание «под ключ»: график выездов, экстренные выезды,склад запчастей «быстрого реагирования».
Диагностика и ремонт
Ремонтируем аналитическое и лабораторное оборудование всех ведущих марок, как представляемых эксклюзивно нами, так и сторонних производителей.
Гарантия и качество
Большой опыт оказания услуг по сервисному обслуживанию и ремонту измерительного оборудования.
Сервис оборудования

ФОРМА ДЛЯ
ОБРАТНОЙ СВЯЗИ

Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.

Напишите свой вопрос, укажите интересующее оборудование.

Наша почта
sales@imc-systems.ru
Наш телефон
+7 (495) 374-04-01