Измерения электрических характеристик

Four Dimensions CVmap

Four Dimensions CVmap
Four Dimensions CVmap
Four Dimensions Inc.

Описание оборудования

Компания 4Dimensions на протяжении более чем 30 лет занимается производством измерительной техники для инспекции в полупроводниковой промышленности. Одно из основных мест в линейке продуктов занимают установки для контроля поверхностного сопротивления пластин (подложек), а также ртутные манипуляторы (зонды) для проведения измерений электрических характеристик полупроводниковых пластин без нанесения металлизации.

Ртутный манипулятор (зонд) широко используются в микроэлектронной индустрии для экспрессного контроля профиля легирования полупроводниковых пластин и параметров МДП-структур. Профилирование с помощью метода ртутного зонда является уникальным способом измерения электрических характеристик материалов и изделий в ходе производства полупроводниковых устройств. Метод основан на анализе зависимости емкости МДП-структур от напряжения на затворе и является незаменимым в случае, когда нежелательным является нанесение металлизации на поверхность для проведения электрических измерений и позволяет значительно экономить время при изготовлении.

Анализ вольт-фарадных характеристик позволяет получить обширную информацию об основных параметрах МДП-структур: типе проводимости полупроводниковой подложки (n- или p-тип); концентрации легирующей примеси в подложке и законе ее распределения в приповерхностной области полупроводника; величине и знаке встроенного в диэлектрик МДП-структуры заряда; толщине подзатворного окисла; плотности поверхностных состояний на границе раздела полупроводник — диэлектрик.

Уникальная конструкция ртутного зонда позволяет обеспечивать высочайший уровень безопасности и воспроизводимость контактной площади в случае каждого конкретного измерения. Система представляет из себя замкнутый прибор, гарантирующий защиту от разлива ртути и загрязнения тестируемой пластины.

Замкнутый корпус и система обеспечения безопасности позволяет исключить возможность разлива ртути.

Благодаря большому набору измерительных головок возможно проводить измерения с различными размерами и формой контактного пятна.

Площадь контакта варьируется в пределах от 3*10-5 до 2 см2. Конфигурация может быть как одиночной точкой, так и точкой с концентрической окружностью, а также линейный массив точек (по аналогии с четырехзондовым методом). Благодаря гибкости системы, она пригодна для проведения измерений на различных материалах, в том числе диэлектрики, полупроводники, структуры типа МДП.

Серия CV92 (в зависимости от комплектации) позволяет проводить ручной и полуавтоматический контроль пластин диаметром до 200 мм.

Серия 3093 предназначена для контроля пластин диаметром до 300 мм.

Основные характеристики

Модель

Характеристики

Особенности

Требования к работе

CVmap 92 A/B

Измерение электрической емкости 0 — 20 нФ


Измерение силы тока 50 фА — 1 мА


Измерительный импульс: 50 мВ, 100 мВ, 150 мВ


Площадь контакта зонда 5*10-5 — 0,6 см2


Воспроизводимость измерений > 2%


Режимы измерения: точка, точка / кольцо, точка / 2 кольца


Головка зонда легко обновляется


Возможна подсветка образца (зависит от датчика)


Головка зонда из поликарбоната позволяет избежать царапин

Диаметр пластин от 10 до 200 мм


ПО CVmap

Потребление электроэнергии: 100 / 115 / 230 В, 50/60 Гц, 300 Вт


Давление сжатого воздуха минимум 4 атм


Вакуум


Размеры (глубина, ширина, высота): 50.8 см, 55.9 см, 33 см

CV92 M

Диаметр пластин от 10 до 200 мм


Моторизированный столик, позволяющий проводить полуавтоматический контроль

Потребление электроэнергии: 100 / 115 / 230 В, 50/60 Гц, 200 Вт


Давление сжатого воздуха минимум 4 атм


Вакуум


Размеры (глубина, ширина, высота): 80 см, 61 см, 27 см

CVmap 3093 A/B

Основные характеристики аналогичны CVmap 92 A/B


Диаметр пластин от 10 до 300 мм


ПО CVmap

Потребление электроэнергии: 100 / 115 / 230 В, 50/60 Гц, 300 Вт


Давление сжатого воздуха минимум 4 атм


Вакуум


Размеры (глубина, ширина, высота): 83.9 см, 82.6 см, 40.7 см

Расходные материалы и аксессуары

К расходным материалам и аксессуарам
Мы предлагаем широкий выбор расходных материалов и аксессуаров для зондовой атомно-силовой и электронной микроскопии по категориям:
Похожее оборудование
4Dimension 120-серия — Ручной измеритель удельного сопротивления
Многофункциональный измеритель сопротивления, идеально подходящий для проведения научно-исследовательской работы, связанной с измерением электрических характеристик материалов с высокой точностью.
233AC Измеритель электрического сопротивления
Система измерения электрического сопротивления четырехзондовым методом, является автоматизированной версией 280-й серии и предназначена для работы с кассетной загрузкой пластин.
280I-серия для измерения удельного сопротивления
Настольная система для измерения удельного сопротивления серии 280I обладает широким функционалом, охватывающим большинство задач, связанных с измерением удельного сопротивления полупроводниковых пластин.
KLA-Tencor RS-75
Эта модель специально ориентирована на применение в производстве для контроля широкого спектра технологических операций.
KLA-Tencor RS-100
Установка рассчитана на применение в условиях серийного производства, обладает функцией автоматической загрузки и сортировки пластин по результатам контроля, пригодна для измерений пластин до 300 мм.
KLA-Tencor RS-200
Полностью автоматическая работа обеспечивают улучшенные характеристики как для пластин 200 мм, так и 300 мм. Обеспечивает точное и надежное измерение удельного сопротивления при технологической норме от 45 нм и более.
Холловский измеритель HL9900
Предназначен для измерения удельного сопротивления, подвижности и концентрации носителей при комнатной температуре и при температуре жидкого азота в полупроводниковых структурах на основе Si, GaAs, InP, SiC, GaN.
Электрохимический профилометр ECV-Pro
Предназначен для спектроскопических исследований полупроводниковых материалов.

Сервис и ремонт измерительного оборудования

Выезд сервис-инженера
В кратчайшие сроки к вам приедет наш сервисный инженер для проведения ремонта.
Сервисный договор
Обслуживание «под ключ»: график выездов, экстренные выезды,склад запчастей «быстрого реагирования».
Диагностика и ремонт
Ремонтируем аналитическое и лабораторное оборудование всех ведущих марок, как представляемых эксклюзивно нами, так и сторонних производителей.
Гарантия и качество
Большой опыт оказания услуг по сервисному обслуживанию и ремонту измерительного оборудования.
Сервис оборудования

ФОРМА ДЛЯ
ОБРАТНОЙ СВЯЗИ

Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.

Напишите свой вопрос, укажите интересующее оборудование.

Наша почта
sales@imc-systems.ru
Наш телефон
+7 (495) 374-04-01