Имеют в своем составе запатентованный датчик KLA-Tencor и обеспечивают измерение профиля поверхности (полный профиль, высота ступенек, шероховатость, плоскостность, прогиб и др.) полупроводниковых пластин в широком диапазоне значений (от сотых нанометров до единиц микрон) и с высокой степенью автоматизации (кассетная загрузка и сортировка) на всех типоразмерах пластин.

Стилусные профилометры Toho FP предлагаются для пластин (подложек) любого современного типоразмера. Модель FP-10 предназначена для небольших партий, FP-20 – для крупносерийного производства. В оборудовании используется запатентованный сканирующего датчика KLA-Tencor, лучшую в своем классе. Стандартный L-образный стилус (2 мкм, 60 °) обеспечивает точное сканирование с контролем усилия воздействия наконечника на поверхность (0,5 до 15 мг), обеспечивая протяженность непрерывного сканирования до 90 мм со скоростью прохода до 25 мм/с. При этом воспроизводимость результатов измерений достигает 10 Å. В модели Toho FP-10 сканирование поверхности обеспечивается за счет перемещения подвижного стола, что обеспечивает возможность измерений на пластинах размером до 400х500 мм. Для более крупных образцов предлагается версия FP-20, где перемещения совершает непосредственно сама сканирующая головка. Это позволяет минимизировать вибрации, возникающие при работе с массивными объектами.

Воспроизводимость результатов измерений 10 Å для типа А / 15 Å для типа Х
Точность позиционирования по осям Х и У ± 2 мкм
Диапазон/путь сканирования 30мм (90 мм)
Скорость сканирования 1 мкм/с (25 мм/с)
Затраты времени на 1 образец 50 с / 100 с / 200 с
Диапазон измерений по высоте 0 – 130 мкм
Размер образца типа А до 400 мм * 500 мм
Размер образца типа Х от 400 мм * 500 мм