DHM®-R1000 — это самая простая и бюджетная модель серии DHM®-R, которая использует лишь один источник лазерного излучения и чрезвычайно проста в использовании. Это идеальный инструмент для измерения гладких поверхностей с неровностями или несплошностями менее 300 нм.
Оборудование серии DHM®-R2000 позволяет использовать интерференцию на двух длинах волн одновременно с использованием одного регистри
рующего тракта. Обе интерференционные картины записываются на одну голограмму и затем реконструируются независимо друг от друга.
В процессе обработки они комбинируются и затем восстанавливаются вместе, тем самым позволяя расширить измерительный диапазон по вертикали до более чем десятка микрон. Эта уникальная особенность позволяет:
- увеличивать вертикальный диапазон, изображаемый без сканирования или переключения длин волн, до 15 мкм;
- проводить измерения поверхности в режиме «реального времени» для обеих конфигураций (одна длина волны, либо две длины волны) с использованием фазового и амплитудного (яркостного) контраста;
- субнанометровая разрешающая способность сохраняется для всего вертикального диапазона;
- неизменная простота использования и интуитивно понятный интерфейс программного обеспечения;
- нечувствительность к внешним вибрациям.
Режим работы с использованием двух длин волн аналогичен режиму с одной длиной волны, сохраняет простые и мощные инструменты анализа, такие как: объединение в последовательности сканирований (автоматизация измерений больших площадей), измерения шероховатости поверхности, определения динамических характеристик работы микроустройств и многие другие.
В зависимости от развитости рельефа исследуемого материала измерения могут производиться как на одной длине волны, так и с использованием их комбинации. Переключение между измерениями на одной и двух волнах осуществляется в момент регистрации голограммы.
В приборах серии DHM®-R2200 интегрирован третий источник лазерного света, что позволяет получать еще одну комбинированную интерференционную картину и еще более расширяет измерительный диапазон.
Субнанометровая разрешающая способность во всем вертикальном диапазоне
Субнанометровая разрешающая способность, реализуемая в монохроматических измерениях, может оставаться неизменной и в широком вертикальном диапазоне, что реализуется с помощью дополнительного источника лазерного света с длиной волной, отличной от основной. Благодаря мощному алгоритму отображения, комбинирующему данные, полученные от измерений с одной длиной волны и комбинированных измерений на двух длинах волн вертикальное разрешение оборудования остается постоянным во всем вертикальном диапазоне.
Регистрация данных о поверхности в микронном диапазоне ведется непрерывно, что позволяет избегать артефактов, связанных с временем сбора данных и, таким образом, делает систему нечувствительной к внешним вибрациям. Изображение поверхности в режиме реального времени и функциональное программное обеспечение обеспечивают простоту использования и эффективность голографических микроскопов.
