Серия DHM®-R1000, DHM®-R2100 и DHM®-R2200 представляет собой голографические микроскопы, использующие отраженный свет. Способность работать в областях с низким коэффициентом отражения (< 1%) делает их идеальными инструментами для точных измерений оптической топографии большого разнообразия образцов.

Благодаря высокой скорости сбора и обработки данных, а также простоте использования приборы DHM® позволяют проводить экспресс-проверки, автоматизированный контроль качества на линии производства и различные фундаментальные исследования.

DHM R1000

  • Конфигурация: 1 лазерный источник
  • Режимы измерений: по 1 длине волны
  • Точность: 0.15 нм
  • Вертикальное разрешение: 0.3 нм
  • Воспроизводимость: 0.01 нм
  • Предел измерения (без сканирования): 200 мкм
  • Максимальная высота ступенек: 333 нм

DHM R2100

  • Конфигурация: 2 лазерных источника
  • Режимы измерений: по 1 или 2 длинам волн
  • Точность: 0.15 нм
  • Вертикальное разрешение: 0.3 нм
  • Воспроизводимость: 0.01 нм
  • Предел измерения (без сканирования): 200 мкм
  • Максимальная высота ступенек: 2.1 мкм

DHM R2200

  • Конфигурация: 3 лазерных источника
  • Режимы измерений: по 1 или 2 длинам волн
  • Точность: 0.15 нм
  • Вертикальное разрешение: 0.3 нм
  • Воспроизводимость: 0.01 нм
  • Предел измерения (без сканирования): 200 мкм
  • Максимальная высота ступенек: 12 мкм

DHM®-R1000 — это самая простая и бюджетная модель серии DHM®-R, которая использует лишь один источник лазерного излучения и чрезвычайно проста в использовании. Это идеальный инструмент для измерения гладких поверхностей с неровностями или несплошностями менее 300 нм.

Оборудование серии DHM®-R2000 позволяет использовать интерференцию на двух длинах волн одновременно с использованием одного регистри
рующего тракта. Обе интерференционные картины записываются на одну голограмму и затем реконструируются независимо друг от друга.
В процессе обработки они комбинируются и затем восстанавливаются вместе, тем самым позволяя расширить измерительный диапазон по вертикали до более чем десятка микрон. Эта уникальная особенность позволяет:

  • увеличивать вертикальный диапазон, изображаемый без сканирования или переключения длин волн, до 15 мкм;
  • проводить измерения поверхности в режиме «реального времени» для обеих конфигураций (одна длина волны, либо две длины волны) с использованием фазового и амплитудного (яркостного) контраста;
  • субнанометровая разрешающая способность сохраняется для всего вертикального диапазона;
  • неизменная простота использования и интуитивно понятный интерфейс программного обеспечения;
  • нечувствительность к внешним вибрациям.

Режим работы с использованием двух длин волн аналогичен режиму с одной длиной волны, сохраняет простые и мощные инструменты анализа, такие как: объединение в последовательности сканирований (автоматизация измерений больших площадей), измерения шероховатости поверхности, определения динамических характеристик работы микроустройств и многие другие.

В зависимости от развитости рельефа исследуемого материала измерения могут производиться как на одной длине волны, так и с использованием их комбинации. Переключение между измерениями на одной и двух волнах осуществляется в момент регистрации голограммы.

В приборах серии DHM®-R2200 интегрирован третий источник лазерного света, что позволяет получать еще одну комбинированную интерференционную картину и еще более расширяет измерительный диапазон.

Субнанометровая разрешающая способность во всем вертикальном диапазоне
Субнанометровая разрешающая способность, реализуемая в монохроматических измерениях, может оставаться неизменной и в широком вертикальном диапазоне, что реализуется с помощью дополнительного источника лазерного света с длиной волной, отличной от основной. Благодаря мощному алгоритму отображения, комбинирующему данные, полученные от измерений с одной длиной волны и комбинированных измерений на двух длинах волн вертикальное разрешение оборудования остается постоянным во всем вертикальном диапазоне.
Регистрация данных о поверхности в микронном диапазоне ведется непрерывно, что позволяет избегать артефактов, связанных с временем сбора данных и, таким образом, делает систему нечувствительной к внешним вибрациям. Изображение поверхности в режиме реального времени и функциональное программное обеспечение обеспечивают простоту использования и эффективность голографических микроскопов.

Principle of Digital Holographic Microscopy

Live 3D Profilometer