Краткие технические характеристики:

  • пропускная способность контроля на уровне 100 пластин в час

Назначение: измерение удельного сопротивления на основе технологии четырехзондового метода.

Область применения: эта модель специально ориентирована на применение в производстве для контроля широкого спектра технологических операций.

Описание оборудования

KLA-Tencor OmniMap RS75

В то время, как в мире наблюдается тенденция к постоянному увеличению размеров пластин с целью удешевления стоимости изготовления элементов, большинство фабрик по-прежнему ориентировано на пластины 76, 100 и 150 мм. Специально для таких фабрик, компания KLA-Tencor представляет свою разработку — систему измерения удельного сопротивления KLA-Tencor OmniMap® RS75, основанную на использовании технологии четырехзондового метода. Оборудование обеспечивает высокоточное измерение сопротивления пластин со значительно большей скоростью по сравнению с существующими аналогами.

Эта модель специально ориентирована на применение в производстве для контроля широкого спектра технологических операций. Система обеспечивает высокую пропускную способность контроля на уровне 100 пластин в час в режиме температурной компенсации, выставления пластины по уровню для 200 мм пластин.

KLA-Tencor OmniMap® RS75 работает как в режиме ручной загрузки, так и с использованием кассетной загрузки.

  • пропускная способность контроля на уровне 100 пластин в час

KLA-Tencor OmniMap RS75

В то время, как в мире наблюдается тенденция к постоянному увеличению размеров пластин с целью удешевления стоимости изготовления элементов, большинство фабрик по-прежнему ориентировано на пластины 76, 100 и 150 мм. Специально для таких фабрик, компания KLA-Tencor представляет свою разработку — систему измерения удельного сопротивления KLA-Tencor OmniMap® RS75, основанную на использовании технологии четырехзондового метода. Оборудование обеспечивает высокоточное измерение сопротивления пластин со значительно большей скоростью по сравнению с существующими аналогами.

Эта модель специально ориентирована на применение в производстве для контроля широкого спектра технологических операций. Система обеспечивает высокую пропускную способность контроля на уровне 100 пластин в час в режиме температурной компенсации, выставления пластины по уровню для 200 мм пластин.

KLA-Tencor OmniMap® RS75 работает как в режиме ручной загрузки, так и с использованием кассетной загрузки.

Пустая вкладка. Отредактируйте страницу, чтобы добавить здесь контент.

Краткие технические характеристики:

  • пропускная способность контроля на уровне 100 пластин в час