Краткие технические характеристики:

  • Высокая скорость проведения обследования

Назначение: проведение автоматического оптического контроля микроэлектронных изделий как на уже разрезанных подложках, так и на цельных пластинах.

Область применения: возможно применение оборудования на всех стадиях технолоческого процесса от инспекции исходных пластин до контроля уже нарезанных изделий.

Описание оборудования

Автоматическая установка определения дефектности ICOS® WI-22xx Wafer Inspector предназначена для проведения автоматического оптического контроля микроэлектронных изделий как на уже разрезанных подложках, так и на цельных пластинах. Отличительной особенностью серии ICOS® WI-22xx является высокая скорость проведения обследования, что позволяет значительно повышать производительность производства светодиодов и микроэлектронномеханических систем, а так же возможность применения оборудования на всех стадиях технолоческого процесса от инспекции исходных пластин до контроля уже нарезанных изделий.

  • Высокая скорость проведения обследования

Система WI-22xx комплектуется ручным либо автоматическим устройством загрузки системы и производит обследование любого типа пластин диаметром от 2″ до 8″ без необходимости смены оснастки. Управление системой осуществляется с помощью программного обеспечения IRIS, позволяющего проводить обследование поверхности как в режиме реального времени непосредственно на конвеере, так и в режиме удаленного доступа, а так же проводить реклассификацию дефектов на любом другом персональном компьютере. Кроме вышеуказанного, для более точной настройки оборудования существует возможность изменения критериев отбраковки пластин, расширенные метрологические возможности.

Пустая вкладка. Отредактируйте страницу, чтобы добавить здесь контент.

Краткие технические характеристики:

  • Высокая скорость проведения обследования