Краткие технические характеристики:
Назначение: детальное обследование поверхности полупроводниковых и оптоэлектронных материалов, позволяет контролировать технологический процесс и значительно повышать выход годной продукции.
Область применения: контроль как непрозрачных (Si, GaAs, и InP), так и прозрачных материалов (SiC, GaN, сапфир, стекло).
В системе используется запатентованный анализатор оптической чувствительности, непрерывно измеряющий интенсивность рассеянного света, изменение топографии, коэффициента отражения и фазового сдвига волны для автоматического определения и классификации визуальных образов дефектов в соответствии с используемой библиотекой типовых дефектов.
В основе анализатора оптической чувствительности лежит комбинация таких методик, как скаттерометрия, элипсометрия, рефлектометрия и оптическая профилометрия. Использование комбинации этих методик позволяет контролировать поверхность пластин на предмет технологических загрязнений, поверхностных и подповерхностных дефектов, изменений топографии и неоднородности поверхности тонких пленок. Система Candela 8400 характеризуется высокой чувствительностью, пропускной способностью и надежностью контроля, что делает ее оптимальной системой инспекции для нужд сложных технологических процессов.
Контроль дефектности и неизменности условий технологического процесса являются критическими для производства идентичных изделий. Технологические загрязнения, такие как посторонние частицы или пятна могут приводить к изменению свойств покрытий и вызывать проблемы с адгезией промежуточных слоев. Поверхностные и подповерхностные дефекты, такие как микрокаверны, царапины, выступы, дефекты кристаллической структуры и прочие нерегулярности поверхности могут негативно сказаться при последующей обработке и ухудшить характристики изделий.
Candela CS20 является высокочувствительным измерительным оборудованием, которое может быть многократно использовано для контроля различных стадий контроля процесса производства в автоматическом режиме без необходимости длительного ручного контроля.
Запатентованная система анализатора оптической чувствительности комбинирует многоканальную детекторную систему для измерения рассеяния света, коэффициента отражения, фазового сдвига, а так же изменений топографии на поверхности пластины.
Система Candela 8420 быстро сканирует поверхность пластины и представляет информацию в виде изображения 100% поверхности пластины в высоком разрешении. Получаемое изображение позволяет измерение как характеристик всей пластины в целом, так и рассмотрение мелких дефектов.
Для инспекции поверхности многочисленные измерения делаются одновременно, а затем анализируются на предмет наличия дефектов и их классификации. Методика инспекции позволяет использовать переменные критерии распознавания визуальных образов дефектов.