Контроль дефектности и неизменности условий технологического процесса являются критическими для производства идентичных изделий. Технологические загрязнения, такие как посторонние частицы или пятна могут приводить к изменению свойств покрытий и вызывать проблемы с адгезией промежуточных слоев. Поверхностные и подповерхностные дефекты, такие как микрокаверны, царапины, выступы, дефекты кристаллической структуры и прочие нерегулярности поверхности могут негативно сказаться при последующей обработке и ухудшить характристики изделий.
Candela CS20 является высокочувствительным измерительным оборудованием, которое может быть многократно использовано для контроля различных стадий контроля процесса производства в автоматическом режиме без необходимости длительного ручного контроля.
Продвинутые алгоритмы анализа поверхности
Запатентованная система анализатора оптической чувствительности комбинирует многоканальную детекторную систему для измерения рассеяния света, коэффициента отражения, фазового сдвига, а так же изменений топографии на поверхности пластины.
Система Candela 8420 быстро сканирует поверхность пластины и представляет информацию в виде изображения 100% поверхности пластины в высоком разрешении. Получаемое изображение позволяет измерение как характеристик всей пластины в целом, так и рассмотрение мелких дефектов.
Для инспекции поверхности многочисленные измерения делаются одновременно, а затем анализируются на предмет наличия дефектов и их классификации. Методика инспекции позволяет использовать переменные критерии распознавания визуальных образов дефектов.