Краткие технические характеристики:

  • Четыре измерительные методики совмещенные в едином приборе
  • Оборудование разработано с учетом промышленных стандартов на инспекцию поверхности в полупроводниковой отрасли и отрасли производства оптоэлектронных материалов

Назначение: детальное обследование поверхности полупроводниковых и оптоэлектронных материалов, позволяет контролировать технологический процесс и значительно повышать выход годной продукции.

Область применения: контроль как непрозрачных (Si, GaAs, и InP), так и прозрачных материалов (SiC, GaN, сапфир, стекло).

Описание оборудования

В системе используется запатентованный анализатор оптической чувствительности, непрерывно измеряющий интенсивность рассеянного света, изменение топографии, коэффициента отражения и фазового сдвига волны для автоматического определения и классификации визуальных образов дефектов в соответствии с используемой библиотекой типовых дефектов.

В основе анализатора оптической чувствительности лежит комбинация таких методик, как скаттерометрия, элипсометрия, рефлектометрия и оптическая профилометрия. Использование комбинации этих методик позволяет контролировать поверхность пластин на предмет технологических загрязнений, поверхностных и подповерхностных дефектов, изменений топографии и неоднородности поверхности тонких пленок. Система Candela 8400 характеризуется высокой чувствительностью, пропускной способностью и надежностью контроля, что делает ее оптимальной системой инспекции для нужд сложных технологических процессов.

  • Четыре измерительные методики совмещенные в едином приборе
  • Оборудование разработано с учетом промышленных стандартов на инспекцию поверхности в полупроводниковой отрасли и отрасли производства оптоэлектронных материалов
  • Пропускная способность контроля для пластин 2′ – 40 шт/час, для платин 8′ – 20 шт/час.
  • Продвинутые алгоритмы расшифровки результатов – возможность создания собственной библиотеки дефектов
  • Автоматизированный контроль производства светодиодных материалов, позволяющий повысить качество производимых подложек, увеличить выход годных изделий.

Контроль дефектности и неизменности условий технологического процесса являются критическими для производства идентичных изделий. Технологические загрязнения, такие как посторонние частицы или пятна могут приводить к изменению свойств покрытий и вызывать проблемы с адгезией промежуточных слоев. Поверхностные и подповерхностные дефекты, такие как микрокаверны, царапины, выступы, дефекты кристаллической структуры и прочие нерегулярности поверхности могут негативно сказаться при последующей обработке и ухудшить характристики изделий.

Измерительная схема системы Candela CS20
Измерительная схема системы Candela CS20

Candela CS20 является высокочувствительным измерительным оборудованием, которое может быть многократно использовано для контроля различных стадий контроля процесса производства в автоматическом режиме без необходимости длительного ручного контроля.

Продвинутые алгоритмы анализа поверхности

Запатентованная система анализатора оптической чувствительности комбинирует многоканальную детекторную систему для измерения рассеяния света, коэффициента отражения, фазового сдвига, а так же изменений топографии на поверхности пластины.

Система Candela 8420 быстро сканирует поверхность пластины и представляет информацию в виде изображения 100% поверхности пластины в высоком разрешении. Получаемое изображение позволяет измерение как характеристик всей пластины в целом, так и рассмотрение мелких дефектов.

Для инспекции поверхности многочисленные измерения делаются одновременно, а затем анализируются на предмет наличия дефектов и их классификации. Методика инспекции позволяет использовать переменные критерии распознавания визуальных образов дефектов.

Краткие технические характеристики:

  • Инспекция пластин диаметром от 50 до 200 мм
  • Четыре измерительные методики совмещенные в едином приборе
  • Настраиваемая производительность контроля
  • Высокая чувствительность к критическим дефектам
  • Оборудование разработано с учетом промышленных стандартов на инспекцию поверхности в полупроводниковой отрасли и отрасли производства оптоэлектронных материалов