Установки измерения топологии фотошаблонов
Установки измерения топологии фотошаблонов KLA-Tencor Archer предназначены для автоматического измерения топологии поверхности фотошаблонов, используемых при производстве изделий микроэлектронной техники. Оборудование предназначено для высокоскоростного измерения параметров топологии, наличия дефектов, их размеров и концентрации, а также для определения качества наложения фотошаблона на пластину.
