Toho FLX-2320-S

Как правило, термические напряжения в тонких пленках могут возникать в случаях, когда материалы с разными коэффициентами теплового расширения объединяются друг с другом. При высоких температурах подобные закономерности могут не так явно проявляться. Однако, при охлаждении рассматриваемые материалы могут по-разному сжиматься/расширяться, вызывая внутренние термические напряжения в образце. В случае пленок могут возникнуть такие дефекты, как дислокации, пустоты и трещины. Система измерения напряжения Toho FLX-2320-S помогает идентифицировать большинство из них. Например:

• Трещины в алюминии под действием напряжений
• Трещины в пассивационном слое (оксиды, нитриды)
• Формирование дислокации в Si
• Растрескивание силицида вольфрама
• Увеличение напряжений в оксидах при температурной обработке
• Расширение фазы металла на GaAs
• Растрескивание Si при высоких напряжениях

От температуры зависят такие характеристики материала образца, как релаксация напряжений, изменение влажности, фазовые изменения и др. Специально разработанный для этих целей FLX-2320-S идеально подходит для определения термических напряжений при различных температурах пластин. В базовой комплектации системы измерения термического напряжения возможно проведение измерений в температурном диапазоне от -65 °C до 500 °C со скоростью нагрева до 30 °C в минуту. Опционально возможно добавление блока охлаждения до -65 °C.