
Измерение параметров термического напряжения в тонких пленках
Системы измерения термического напряжения в тонких пленках Toho FLX-2320-S предлагают функциональность, которая подойдет как для массового производства, так и для исследовательских центров. Запатентованная технология «двойной длины волны» KLA-Tencor, используемая в приборах Toho серии FLX, позволяет проводить полный анализ поверхностных напряжений, вызванных нанесением тонких пленок на образец. Благодаря использованию метода лазерного рычага для измерения изменений радиуса кривизны поверхности до и после осаждения с последующим сопоставлением с величиной термического напряжения возможно точное и быстрое определение параметров различных пленок и подложек диаметром до 200 мм.