Описание оборудования
1) Автоматическая калибровка оборудования
Одной из уникальных характеристик Surfscan 6400 является автоматическая калибровка для измерения поверхности тонких пленок: вместо того, чтобы тратить часы на осаждение сфер на поверхность измерительных пластин для получения калибровки оборудования по чувствительности к дефектам, достаточно одного клика, чтобы загрузить библиотеку калибровки для конкретной пленки.
2) Расширенный динамический диапазон
Платформа Surfscan 6400 обеспечивает детектирование широкого спектра дефектов в ходе единого сканирования: в случае с частицами диапазон одновременно определяемых размеров составляет от 0,10 мкм до 3 мкм, что обеспечивает надежные и воспроизводимые измерения одновременно с увеличением пропускной способности.
3) Непревзойденная чувствительность контроля
Непревзойденная чувствительность контроля с помощью Surfscan 6400—результат использования малого размера пучка и увеличенной скорости сэмплирования данных для обеспечения максимально точной локализации положения дефекта. Кроме того, при высочайшей чувствительности система сохраняет высокую пропускную способность контроля—на уровне 100 пластин в час при инспекции 200 мм пластин.
4) Технологическое преимущество
Все технологические наработки, зарекомендовавшие себя в системах Surfscan 6000 соединены в Surfscan 6400. Благодаря специальной многопараметровой технологии частицы на поверхности материала выделяются на уровне общего сигнала. Библиотека дефектов с функцией «обучения» позволяет автоматически распознавать дефекты и сортировать их по размерам с минимальным процентом ошибочного определения. Это обстоятельство делает возможным сравнение между собой различных установок, расположенных на разных производственных участках и эффективно организовывать входной контроль при получении пластин (подложек) от поставщика.
5) Простота в эксплуатации
Система Surfscan 6400 использует операционную систему Microsoft Windows для работы пользовательского интерфейса. Данные о загрязнениях на поверхности представляются в двухмерном или объемном виде, а так же в виде статистического распределения по выбранным критериям. Кроме того, программное обеспечение позволяет передавать данные во внешние программные среды как в виде готовых отчетов (Microsoft. Access), так и в виде «сырых» данных для последующей обработки.
Механизм сбора информации прост и обладает большой гибкостью. Благодаря функции MicroView многие особенности топологии поверхности могут быть проанализированы более детально, с использованием отличных от остальных участков критериев. Координаты конкретных дефектов могут быть экспортированы в позиционные устройства СЭМ микроскопов для детального изучения.
6) Расширение возможностей
Будучи гибкой, система позволяет организовывать работу в сетевом режиме с использованием протокола GEM SECS, а так же функционировать в режиме роботизированной загрузки/выгрузки пластин в SMIF кассеты. Статистический анализ данных выполняется благодаря установленному пакету программного обеспечения SPC. В качества дополнительного оснащения возможно использовать пакеты Surfscan SWIFT/Station™, обеспечивающие более детальный анализ данных о состоянии поверхности.
Основные характеристики
Чувствительность |
0,10 мкм |
---|---|
Технологическая норма |
350 нм+ |
Производительность |
100 пластин/час (Ø 200 мм) |
Воспроизводимость контроля |
1σ |
Аргонный лазер |
488 нм, 30 мВ |
Диаметр пластин |
не более 200 мм |
Габариты |
750 мм х 770 мм х 1680 мм |
Пропускная способность контроля |
для пластин 2′ – 40 шт/час, для пластин 8′ – 20 шт/час |
Продвинутые алгоритмы расшифровки результатов |
возможность создания собственной библиотеки дефектов |
Четыре измерительные методики, совмещенные в едином приборе. |
|
Оборудование разработано с учетом промышленных стандартов на инспекцию поверхности в полупроводниковой отрасли и отрасли производства оптоэлектронных материалов/ |
|
Автоматизированный контроль производства светодиодных материалов, позволяющий повысить качество производимых подложек, увеличить выход годных изделий. |
Сервис и ремонт измерительного оборудования
ФОРМА ДЛЯ
ОБРАТНОЙ СВЯЗИ
Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.
Напишите свой вопрос, укажите интересующее оборудование.