Универсальная система для контроля дефектности пластин

Система Surfscan 6400 основана за зарекомендовавшей себя платформе Surfscan 6000 и гарантирует высокие измерительные возможности, низкую стоимость владения и непревзойденную пропускную способность контроля.

Назначение

Уникальная конфигурация оптической системы KLA Surfscan 6400, переменная поляризации света и многоканальная система детекторов позволяют с высокой точностью проводить измерения нерегулярности тонких пленок, что является крайне важным аргументом при анализе процессов химико-механической планеризации.

Область применения

Благодаря использованию современной конструкции и уникальных технологических решений оборудование в состоянии детектировать субмикронные частицы на шероховатых поверхностях (поликремний, вольфрам) и, одновременно, демонстрировать разрешающую способность менее 0,1 мкм на гладких поверхностях (полированный кремний, эпитаксиальный слой).

  • Чувствительность: 0,10 мкм;
  • Технологическая норма: 350 нм+;
  • Производительность: 100 пластин/час (Ø 200 мм);
  • Воспроизводимость контроля: 1 σ;
  • Аргонный лазер: 488 нм, 30 мВ;
  • Диаметр пластин: не более 200 мм;
  • Габариты: 750 мм х 770 мм х 1680 мм
  • Четыре измерительные методики совмещенные в едином приборе
  • Оборудование разработано с учетом промышленных стандартов на инспекцию поверхности в полупроводниковой отрасли и отрасли производства оптоэлектронных материалов
  • Пропускная способность контроля для пластин 2′ – 40 шт/час, для пластин 8′ – 20 шт/час.
  • Продвинутые алгоритмы расшифровки результатов: возможность создания собственной библиотеки дефектов
  • Автоматизированный контроль производства светодиодных материалов, позволяющий повысить качество производимых подложек, увеличить выход годных изделий.

Автоматическая калибровка оборудования

Одной из уникальных характеристик Surfscan 6400 является автоматическая калибровка для измерения поверхности тонких пленок: вместо того, чтобы тратить часы на осаждение сфер на поверхность измерительных пластин для получения калибровки оборудования по чувствительности к дефектам, достаточно одного клика, чтобы загрузить библиотеку калибровки для конкретной пленки.

Расширенный динамический диапазон

Платформа Surfscan 6400 обеспечивает детектирование широкого спектра дефектов в ходе единого сканирования: в случае с частицами диапазон одновременно определяемых размеров составляет от 0,10 мкм до 3 мкм, что обеспечивает надежные и воспроизводимые измерения одновременно с увеличением пропускной способности.

Непревзойденная чувствительность контроля

Непревзойденная чувствительность контроля с помощью Surfscan 6400—результат использования малого размера пучка и увеличенной скорости сэмплирования данных для обеспечения максимально точной локализации положения дефекта. Кроме того, при высочайшей чувствительности система сохраняет высокую пропускную способность контроля—на уровне 100 пластин в час при инспекции 200 мм пластин.

Технологическое преимущество

Все технологические наработки, зарекомендовавшие себя в системах Surfscan 6000 соединены в Surfscan 6400. Благодаря специальной многопараметровой технологии частицы на поверхности материала выделяются на уровне общего сигнала. Библиотека дефектов с функцией «обучения» позволяет автоматически распознавать дефекты и сортировать их по размерам с минимальным процентом ошибочного определения. Это обстоятельство делает возможным сравнение между собой различных установок, расположенных на разных производственных участках и эффективно организовывать входной контроль при получении пластин (подложек) от поставщика.

Простота в эксплуатации

Система Surfscan 6400 использует операционную систему Microsoft Windows для работы пользовательского интерфейса. Данные о загрязнениях на поверхности представляются в двухмерном или объемном виде, а так же в виде статистического распределения по выбранным критериям. Кроме того, программное обеспечение позволяет передавать данные во внешние программные среды как в виде готовых отчетов (Microsoft. Access), так и в виде «сырых» данных для последующей обработки.

Механизм сбора информации прост и обладает большой гибкостью. Благодаря функции MicroView многие особенности топологии поверхности могут быть проанализированы более детально, с использованием отличных от остальных участков критериев. Координаты конкретных дефектов могут быть экспортированы в позиционные устройства СЭМ микроскопов для детального изучения.

Расширение возможностей

Будучи гибкой, система позволяет организовывать работу в сетевом режиме с использованием протокола GEM SECS, а так же функционировать в режиме роботизированной загрузки/выгрузки пластин в SMIF кассеты. Статистический анализ данных выполняется благодаря установленному пакету программного обеспечения SPC. В качества дополнительного оснащения возможно использовать пакеты Surfscan SWIFT/Station™, обеспечивающие более детальный анализ данных о состоянии поверхности.