Установки измерения дефектности пластин

KLA-Tencor ICOS WI 2280

KLA-Tencor ICOS WI 2280
Система для оценки дефектности подложек
Автоматическая установка определения дефектности ICOS WI 22xx Wafer Inspector предназначена для проведения автоматического оптического контроля микроэлектронных изделий как на уже разрезанных подложках, так и на цельных пластинах.

Описание оборудования

   Система KLA-Tencor ICOS WI 22xx комплектуется ручным либо автоматическим устройством загрузки системы и производит обследование любого типа пластин диаметром от 2″ до 8″ без необходимости смены оснастки.


   Отличительной особенностью серии ICOS WI 22xx является:

- высокая скорость проведения обследования, что позволяет значительно повышать производительность производства светодиодов и микроэлектрономеханических систем

- возможность применения оборудования на всех стадиях технологического процесса: от инспекции исходных пластин до контроля уже нарезанных изделий.


   Управление системой осуществляется с помощью программного обеспечения IRIS, позволяющего:

- проводить обследование поверхности в режиме реального времени непосредственно на конвейере или в режиме удаленного доступа

- осуществлять реклассификацию дефектов на любом другом персональном компьютере.

   Кроме вышеуказанного, для более точной настройки оборудования существуют возможности изменения критериев отбраковки пластин и расширенный метрологический функционал.

Расходные материалы и аксессуары

К расходным материалам и аксессуарам
Мы предлагаем широкий выбор расходных материалов и аксессуаров для зондовой атомно-силовой и электронной микроскопии по категориям:
Похожее оборудование
KLA Candela 8420
Позволяет проанализировать всю поверхность за несколько минут и получить изображение с высоким разрешением, построить карты дефектов пластин и автоматически классифицировать дефекты.
KLA Candela 8520
Единая система для контроля поверхности и измерения фотолюминесценции, предназначенная для повышения эффективности определения характеристик дефектов в подложке и эпитаксиальном слое во время контроля силовых установок и аналогичных систем.
KLA Candela 8720
Позволяет обнаруживать множество критически важных дефектов подложки и эпитаксиального слоя и может использоваться для компонентов светодиодов, фотоэлектронных приборов, устройств связи, а также сложных полупроводниковых материалов.
KLA-Tencor Surfscan 6400
Позволяет детектировать субмикронные частицы на шероховатых поверхностях и демонстрировать разрешающую способность <0,1 мкм на гладких поверхностях

Сервис и ремонт измерительного оборудования

Выезд сервис-инженера
В кратчайшие сроки к вам приедет наш сервисный инженер для проведения ремонта.
Сервисный договор
Обслуживание «под ключ»: график выездов, экстренные выезды,склад запчастей «быстрого реагирования».
Диагностика и ремонт
Ремонтируем аналитическое и лабораторное оборудование всех ведущих марок, как представляемых эксклюзивно нами, так и сторонних производителей.
Гарантия и качество
Большой опыт оказания услуг по сервисному обслуживанию и ремонту измерительного оборудования.
Сервис оборудования

ФОРМА ДЛЯ
ОБРАТНОЙ СВЯЗИ

Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.

Напишите свой вопрос, укажите интересующее оборудование.

Наша почта
sales@imc-systems.ru
Наш телефон
+7 (495) 374-04-01