Система для оценки дефектности подложек

Автоматическая установка определения дефектности ICOS WI 22xx Wafer Inspector предназначена для проведения автоматического оптического контроля микроэлектронных изделий как на уже разрезанных подложках, так и на цельных пластинах.

Отличительной особенностью серии ICOS WI 22xx является:

  • высокая скорость проведения обследования, что позволяет значительно повышать производительность производства светодиодов и микроэлектрономеханических систем
  • возможность применения оборудования на всех стадиях технологического процесса: от инспекции исходных пластин до контроля уже нарезанных изделий.

Система KLA-Tencor ICOS WI 22xx комплектуется ручным либо автоматическим устройством загрузки системы и производит обследование любого типа пластин диаметром от 2″ до 8″ без необходимости смены оснастки.

Управление системой осуществляется с помощью программного обеспечения IRIS, позволяющего:

  • проводить обследование поверхности в режиме реального времени непосредственно на конвейере или в режиме удаленного доступа
  • осуществлять реклассификацию дефектов на любом другом персональном компьютере.

Кроме вышеуказанного, для более точной настройки оборудования существуют возможности изменения критериев отбраковки пластин и расширенный метрологический функционал.