Система для оценки дефектности подложек
Автоматическая установка определения дефектности ICOS WI 22xx Wafer Inspector предназначена для проведения автоматического оптического контроля микроэлектронных изделий как на уже разрезанных подложках, так и на цельных пластинах.
Отличительной особенностью серии ICOS WI 22xx является:
- высокая скорость проведения обследования, что позволяет значительно повышать производительность производства светодиодов и микроэлектрономеханических систем
- возможность применения оборудования на всех стадиях технологического процесса: от инспекции исходных пластин до контроля уже нарезанных изделий.