Автоматические установки измерения дефектности пластин (подложек)

Системы измерения дефектности пластин позволяют решать задачи определения качества пластин и подложек, применяемых для производства электронных компонентов, определять источник появления загрязнений/повреждений/структурных дефектов и, тем самым, аттестовать технологические операций на привносимую дефектность в технологический процесс в целом.

Отдел продаж

Позвоните нам по телефону:
+7 (495) 374-04-01

Оставьте заявку на электронную почту:
[email protected]

Заполните онлайн-форму

null

KLA-Tencor ICOS WI 2280

Система оптической инспекции критических дефектов и мониторинг качества изготовления устройств на полупроводниковых подложках
null

KLA-Tencor Surfscan 6400

Позволяет детектировать субмикронные частицы на шероховатых поверхностях и демонстрировать разрешающую способность < 0,1 мкм на гладких поверхностях
null

KLA Candela 8420

Позволяет проанализировать всю поверхность за несколько минут и получить изображение с высоким разрешением, построить карты дефектов пластин и автоматически классифицировать дефекты.
null

KLA Candela 8520

Единая система для контроля поверхности и измерения фотолюминесценции, созданная для повышения эффективности характеризации дефектов во время контроля силовых установок и аналогичных систем.
null

KLA Candela 8720

Позволяет обнаруживать множество дефектов подложки и эпитаксиального слоя и может использоваться для компонентов светодиодов, фотоэлектронных приборов, устройств связи, а также сложных полупроводниковых материалов.

Сервис и ремонт измерительного оборудования

Оказываем услуги по сервисному обслуживанию измерительного оборудования

Сервис-инженер

В кратчайшие сроки к вам приедет инженер для проведение ремонта.

Сервисный договор

Обслуживание «под ключ»: график выездов, экстренные выезды,склад запчастей «быстрого реагирования».

Диагностика и ремонт

Ремонтируем аналитическое и лабораторное оборудование всех ведущих марок, как представляемых эксклюзивно нами, так и сторонних производителей