Автоматические установки измерения дефектности пластин (подложек)
Системы измерения дефектности пластин позволяют решать задачи определения качества пластин и подложек, применяемых для производства электронных компонентов, определять источник появления загрязнений/повреждений/структурных дефектов и — тем самым — аттестовать технологические операций на привносимую дефектность в технологический процесс в целом.
