Голографические микроскопы и профилометры

Промышленные стилусные профилометры Toho FP

Промышленные стилусные профилометры Toho FP

Описание оборудования

   Профилометры фирмы Toho Technology Inc (Япония) имеют в своем составе запатентованный датчик KLA-Tencor.

   Модель Toho FP обеспечивают измерение профиля поверхности (полный профиль, высота ступенек, шероховатость, плоскостность, прогиб и др.) полупроводниковых пластин в широком диапазоне значений (от сотых нанометров до единиц микрон), с высокой степенью автоматизации (кассетная загрузка и сортировка) и для всех возможных типоразмеров.

   Стилусные профилометры Toho FP предлагаются для пластин (подложек) любого современного типоразмера. В оборудовании используется запатентованный сканирующего датчика KLA-Tencor, лучшую в своем классе.

   Стандартный L-образный стилус (2 мкм, 60 °) обеспечивает точное сканирование с контролем усилия воздействия наконечника на поверхность (0,5 до 15 мг), обеспечивая протяженность непрерывного сканирования до 90 мм со скоростью прохода до 25 мм/с. При этом воспроизводимость результатов измерений достигает 10 Å.

   Модель FP-10 предназначена для небольших партий, FP-20 – для крупносерийного производства.

   В модели Toho FP-10 сканирование поверхности обеспечивается за счет перемещения подвижного стола, что обеспечивает возможность измерений на пластинах размером до 400х500 мм.

   Для более крупных образцов предлагается версия FP-20, где перемещения совершает непосредственно сама сканирующая головка. Это позволяет минимизировать вибрации, возникающие при работе с массивными объектами.

Основные характеристики

Воспроизводимость результатов измерений

10 Å для типа А / 15 Å для типа Х

Точность позиционирования по осям Х и У

± 2 мкм

Диапазон/путь сканирования

30мм (90 мм)

Скорость сканирования

1 мкм/с (25 мм/с)

Затраты времени на 1 образец

50 с / 100 с / 200 с

Диапазон измерений по высоте

0 – 130 мкм

Размер образца типа А

до 400 мм * 500 мм

Размер образца типа Х

от 400 мм * 500 мм

Расходные материалы и аксессуары

К расходным материалам и аксессуарам
Мы предлагаем широкий выбор расходных материалов и аксессуаров для зондовой атомно-силовой и электронной микроскопии по категориям:
Похожее оборудование
Голографические профилометры отраженного света
Идеальные инструменты для точных измерений оптической топографии большого разнообразия образцов.
Голографические профилометры проходящего света
Являются единственными в своем роде оптическими профилометрами, предназначенными для инспекции поверхности в проходящем свете.
Оптический профилометр KLA Zeta-20
Настольный оптический профилометр, оснащенный запатентованной технологией ZDot и гибкой многорежимной оптикой для измерений 3D топографии поверхности, толщины пленок и автоматического контроля дефектов.
Оптический профилометр KLA Zeta-300
Оптический профилометр для работы с крупными образцами, оснащенный запатентованной технологией ZDot и гибкой многорежимной оптикой для измерений 3D топографии поверхности, толщины пленок и автоматического контроля дефектов.
Оптический профилометр KLA Zeta-388
Напольный оптический профилометр с кассетной загрузкой для автоматической инспекции и метрологии, оснащенный запатентованной технологией ZDot и гибкой многорежимной оптикой для измерений 3D топографии поверхности, толщины пленок и автоматического контроля дефектов.
Оптический профилометр KLA-Tencor MicroXAM-800
Интерферометр белого света (профилометр) для 3D анализа топологии поверхности.
Оптический профилометр Profilm3D
Доступные по цене бесконтактные системы анализа 3D-рельефа поверхности на основе интерферометрии белого света (WLI).
Стилусный профилометр HRP-260
Стилусный профилометр KLA-Tencor HRP-260 для измерения профиля поверхности пластин до 200 мм.
Стилусный профилометр KLA-Tencor Alpha-Step D-500
Может быстро и качественно провести анализ 2D-топографии поверхности размером до 30 мм.
Стилусный профилометр KLA-Tencor Alpha-Step D-600
Отличается возможностью размещения 200 мм пластин, наличию сервопривода предметного стола и опцией измерения механических напряжений, возникающих после нанесения тонких пленок.
Стилусный профилометр KLA-Tencor P-7
Платформа среднего класса, которая сочетает в себе все превосходные функции сканирования, присущие бренду KLA Instruments, производительность и одну из самых доступных цен среди аналогов.
Стилусный профилометр KLA-Tencor P-17
Представляют серию профилометров, специально разработанных для обеспечения потребностей мелкосерийных производств в профессиональном контроле.
Стилусный профилометр KLA-Tencor P-170
Кассетный профилометр, позволяющий проводить измерения в диапазоне от нескольких нанометров до одного миллиметра сразу у нескольких образцов в режиме 24/7.

Сервис и ремонт измерительного оборудования

Выезд сервис-инженера
В кратчайшие сроки к вам приедет наш сервисный инженер для проведения ремонта.
Сервисный договор
Обслуживание «под ключ»: график выездов, экстренные выезды,склад запчастей «быстрого реагирования».
Диагностика и ремонт
Ремонтируем аналитическое и лабораторное оборудование всех ведущих марок, как представляемых эксклюзивно нами, так и сторонних производителей.
Гарантия и качество
Большой опыт оказания услуг по сервисному обслуживанию и ремонту измерительного оборудования.
Сервис оборудования

ФОРМА ДЛЯ
ОБРАТНОЙ СВЯЗИ

Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.

Напишите свой вопрос, укажите интересующее оборудование.

Наша почта
sales@imc-systems.ru
Наш телефон
+7 (495) 374-04-01