Стилусные профилометры Toho FP предлагаются для пластин (подложек) любого современного типоразмера. В оборудовании используется запатентованный сканирующего датчика KLA-Tencor, лучшую в своем классе.
Стандартный L-образный стилус (2 мкм, 60 °) обеспечивает точное сканирование с контролем усилия воздействия наконечника на поверхность (0,5 до 15 мг), обеспечивая протяженность непрерывного сканирования до 90 мм со скоростью прохода до 25 мм/с. При этом воспроизводимость результатов измерений достигает 10 Å.
Модель FP-10 предназначена для небольших партий, FP-20 – для крупносерийного производства.
В модели Toho FP-10 сканирование поверхности обеспечивается за счет перемещения подвижного стола, что обеспечивает возможность измерений на пластинах размером до 400х500 мм.
Для более крупных образцов предлагается версия FP-20, где перемещения совершает непосредственно сама сканирующая головка. Это позволяет минимизировать вибрации, возникающие при работе с массивными объектами.