Профилометры фирмы Toho Technology Inc (Япония) имеют в своем составе запатентованный датчик KLA-Tencor.
Модель Toho FP обеспечивают измерение профиля поверхности (полный профиль, высота ступенек, шероховатость, плоскостность, прогиб и др.) полупроводниковых пластин в широком диапазоне значений (от сотых нанометров до единиц микрон), с высокой степенью автоматизации (кассетная загрузка и сортировка) и для всех возможных типоразмеров.
Стилусные профилометры Toho FP предлагаются для пластин (подложек) любого современного типоразмера. В оборудовании используется запатентованный сканирующего датчика KLA-Tencor, лучшую в своем классе.
Стандартный L-образный стилус (2 мкм, 60 °) обеспечивает точное сканирование с контролем усилия воздействия наконечника на поверхность (0,5 до 15 мг), обеспечивая протяженность непрерывного сканирования до 90 мм со скоростью прохода до 25 мм/с. При этом воспроизводимость результатов измерений достигает 10 Å.
Модель FP-10 предназначена для небольших партий, FP-20 – для крупносерийного производства.
В модели Toho FP-10 сканирование поверхности обеспечивается за счет перемещения подвижного стола, что обеспечивает возможность измерений на пластинах размером до 400х500 мм.
Для более крупных образцов предлагается версия FP-20, где перемещения совершает непосредственно сама сканирующая головка. Это позволяет минимизировать вибрации, возникающие при работе с массивными объектами.
| Воспроизводимость результатов измерений | 10 Å для типа А / 15 Å для типа Х |
| Точность позиционирования по осям Х и У | ± 2 мкм |
| Диапазон/путь сканирования | 30мм (90 мм) |
| Скорость сканирования | 1 мкм/с (25 мм/с) |
| Затраты времени на 1 образец | 50 с / 100 с / 200 с |
| Диапазон измерений по высоте | 0 – 130 мкм |
| Размер образца типа А | до 400 мм * 500 мм |
| Размер образца типа Х | от 400 мм * 500 мм |