Представляет собой систему для бесконтактного измерения 3D-рельефа поверхности. KLA Zeta-300 основывается на возможностях KLA Zeta-20, имеет антивибрационную защиту, более широкие функционал и гибкость работы, позволяет работать с более крупными крупными образцами. В профилометре также применяется запатентованная технологияZDot™, которая обеспечивает возможность работать одновременно с 3D-данными высокого разрешения и с изображениями, полученными по технологии True Color. Благодаря этому измерения с шагом от субнанометра до миллиметров, с оценкой высоты ступени, степени шероховатости, толщины пленок и с проверкой наличия дефектов могут осуществляться для самых различных образцов: прозрачных и непрозрачных, с коэффициентом отражения от низкого до высокого, текстурой от гладкой до шероховатой и т.д.

Уникальная технология ZDot характеризуется точной фокусировкой отраженного излучения, улучшенной системой подсветки, специально разработанной оптической схемой и возможностью полноценной передачи реальных цветов.  Применение данной технологии совместно с инновационными алгоритмами работы с информацией позволяет снять какие-либо ограничения при анализе параметров поверхности. Чувствительность по оси Z – от 10 нм, поле обзора – от 100 мкм до 4.5 мм.

Профилометр KLA Zeta-300 объединяет несколько различных методов оптической метрологии в одну гибкую в настройке и простую в использовании систему:

  • режим ZDot для работы с 3D изображениями высокого разрешения
  • интерферометрия белого света (ZX5, ZSI)
  • дифференциальная интерференционно-контрастная микроскопия Номарского (ZIC)
  • интерферометрия сдвига
  • оценка толщины пленок с помощью ZDot или встроенного широкополосного рефлектометра (ZFT)
  • оптическая микроскопия

Как видно, профилометр Zeta-300 представляет собой высокотехнологичную систему, которая может быть актуальная как для научно-исследовательских задач, так и для контроля качества, осуществляемого на производстве.

KLA Zeta-300

Представляет собой быстрый бесконтактный оптический 3D профилометр

Измерения возможны для пластин диаметром до 300 мм

Увеличенный диапазон Z-перемещений до 280 мм (для очень высоких образцов)

Данные могут быть получены с разрешающей способностью < 1 А

Смоделированная оптическая система может работать в нескольких режимах, что позволяет его использовать для самых различных применений

Все измерения полностью автоматизированы

Возможны варианты поставки с различными предметными столиками

Отличные повторяемость и воспроизводимость производимых измерений

Усовершенствованное многоязычное программное обеспечение Apex для анализа поверхностей, максимально информативное, обладающее впечатляющим функционалом, позволяющее максимально автоматизировать процесс работы

Возможность автоматического определения шага и автосканирования, что может существенно упростить работу пользователей

Оптическая система Zeta-300 предоставляет следующий спектр возможностей, доступных для профилометра подобного класса:

  • Детальный анализ топографии, оценка высоты ступеньки, текстуры и формы образца за счет полученных в высоком разрешении 3D изображений поверхности.
  • Оценка высоты ступеней в диапазоне от нескольких нанометров до миллиметров, в том числе при их большом удлинении.
  • Анализ степени шероховатости гладких (< 1 А) и грубых (сотни микрон) поверхностей.
  • Интерферометрия белого света для измерения высоты ступени в широком диапазоне и с высоким разрешением по оси z.
  • Оценка напряжений в тонких пленках и анализ изгиба образца.
  • Для прозрачных пленок возможно провести измерение толщины (от 30 нм до 100 мкм) с последующим картированием.
  • Программное обеспечение Apex позволяет осуществлять фильтрацию, выравнивание и анализ всех полученных изображений. Оно включает в себя более 40 ключевых надстроек и параметров для анализа глубины, высоты ступеньки, шероховатости, волнистости, наклона, плоскостности, радиуса кривизны, напряжения, протяженности, формы и распределения количества пиков и многое другое. Apex полностью совместим со стандартным ПО профилометра, имеет простой и интуитивно понятный интерфейс, что позволяет легко создавать необходимые отчеты и осуществлять автоматическую обработку данных.
  • и многое другое.

Оптический профилометр KLA Zeta-300 может выполнять широкий спектр измерений и приложений:

  • поверхностная характеристика и планаризация полупроводниковых элементов, что позволит улучшить их характеристики и уменьшить процент выпускаемого брака;
  • измерение высоты, компланарности и степени шероховатости полупроводниковых элементов, устанавливаемых по технологии Flip Chip;
  • анализ дефектов (царапины, сколы, трещины и т.д.), измерение параметров шероховатости, высоты/глубины структуры, высоты ступеньки, характеризация текстуры и многое другое для элементов устройств хранения данных: жестких дисков, оптических и магнитных носителей информации;
  • MEMS и элементы оптоэлектроники (кривизна микролинз, анализ линий, окружностей, углов измерение ширины и расстояния);
  • автоматическая оценка глубины травления;
  • оценка параметров материалов
  • анализ биологических объектов, элементов для микрофлюидики, керамических подложек, параметров фольги, тонких пленок, поверхностей после полировки или окраски и т.д.

Техническое описание доступно по запросу, а так же на сайте производителя.