Голографические микроскопы и профилометры

Оптический профилометр KLA Zeta-300

Оптический профилометр KLA Zeta-300
Оптический профилометр KLA Zeta-300
Оптический профилометр KLA Zeta-300
Оптический профилометр KLA Zeta-300
Оптический профилометр KLA Zeta-300
Оптический профилометр KLA Zeta-300

Описание оборудования

   Представляет собой систему для бесконтактного измерения 3D-рельефа поверхности. KLA Zeta-300 основывается на возможностях KLA Zeta-20, имеет антивибрационную защиту, более широкие функционал и гибкость работы, позволяет работать с более крупными крупными образцами. В профилометре также применяется запатентованная технологияZDot™, которая обеспечивает возможность работать одновременно с 3D-данными высокого разрешения и с изображениями, полученными по технологии True Color. Благодаря этому измерения с шагом от субнанометра до миллиметров, с оценкой высоты ступени, степени шероховатости, толщины пленок и с проверкой наличия дефектов могут осуществляться для самых различных образцов: прозрачных и непрозрачных, с коэффициентом отражения от низкого до высокого, текстурой от гладкой до шероховатой и т.д.
   Уникальная технология ZDot характеризуется точной фокусировкой отраженного излучения, улучшенной системой подсветки, специально разработанной оптической схемой и возможностью полноценной передачи реальных цветов. Применение данной технологии совместно с инновационными алгоритмами работы с информацией позволяет снять какие-либо ограничения при анализе параметров поверхности. Чувствительность по оси Z – от 10 нм, поле обзора – от 100 мкм до 4.5 мм.
   Профилометр KLA Zeta-300 объединяет несколько различных методов оптической метрологии в одну гибкую в настройке и простую в использовании систему:

- режим ZDot для работы с 3D изображениями высокого разрешения
- интерферометрия белого света (ZX5, ZSI)
- дифференциальная интерференционно-контрастная микроскопия Номарского (ZIC)
- интерферометрия сдвига
- оценка толщины пленок с помощью ZDot или встроенного широкополосного рефлектометра (ZFT)
- оптическая микроскопия

   Как видно, профилометр Zeta-300 представляет собой высокотехнологичную систему, которая может быть актуальная как для научно-исследовательских задач, так и для контроля качества, осуществляемого на производстве.
   Оптический профилометр KLA Zeta-300 может выполнять широкий спектр измерений и приложений:


- поверхностная характеристика и планаризация полупроводниковых элементов, что позволит улучшить их характеристики и уменьшить процент выпускаемого брака;
- измерение высоты, компланарности и степени шероховатости полупроводниковых элементов, устанавливаемых по технологии Flip Chip;
- анализ дефектов (царапины, сколы, трещины и т.д.), измерение параметров шероховатости, высоты/глубины структуры, высоты ступеньки, характеризация текстуры и многое другое для элементов устройств хранения данных: жестких дисков, оптических и магнитных носителей информации;
- MEMS и элементы оптоэлектроники (кривизна микролинз, анализ линий, окружностей, углов измерение ширины и расстояния);
- автоматическая оценка глубины травления;
- оценка параметров материалов
- анализ биологических объектов, элементов для микрофлюидики, керамических подложек, параметров фольги, тонких пленок, поверхностей после полировки или окраски и т.д.
Особенности профилометра

KLA Zeta-300

- Представляет собой быстрый бесконтактный оптический 3D профилометр

- Измерения возможны для пластин диаметром до 300 мм

- Увеличенный диапазон Z-перемещений до 280 мм (для очень высоких образцов)

- Данные могут быть получены с разрешающей способностью < 1 А

- Смоделированная оптическая система может работать в нескольких режимах, что позволяет его использовать для самых различных применений

- Все измерения полностью автоматизированы

- Возможны варианты поставки с различными предметными столиками

- Отличные повторяемость и воспроизводимость производимых измерений

- Усовершенствованное многоязычное программное обеспечение Apex для анализа поверхностей, максимально информативное, обладающее впечатляющим функционалом, позволяющее максимально автоматизировать процесс работы

- Возможность автоматического определения шага и автосканирования, что может существенно упростить работу пользователей
Широкий спектр возможностей

- Детальный анализ топографии, оценка высоты ступеньки, текстуры и формы образца за счет полученных в высоком разрешении 3D изображений поверхности.

- Оценка высоты ступеней в диапазоне от нескольких нанометров до миллиметров, в том числе при их большом удлинении.

- Анализ степени шероховатости гладких (< 1 А) и грубых (сотни микрон) поверхностей.

- Интерферометрия белого света для измерения высоты ступени в широком диапазоне и с высоким разрешением по оси z.

- Оценка напряжений в тонких пленках и анализ изгиба образца.

- Для прозрачных пленок возможно провести измерение толщины (от 30 нм до 100 мкм) с последующим картированием.

- Программное обеспечение Apex позволяет осуществлять фильтрацию, выравнивание и анализ всех полученных изображений. Оно включает в себя более 40 ключевых надстроек и параметров для анализа глубины, высоты ступеньки, шероховатости, волнистости, наклона, плоскостности, радиуса кривизны, напряжения, протяженности, формы и распределения количества пиков и многое другое. Apex полностью совместим со стандартным ПО профилометра, имеет простой и интуитивно понятный интерфейс, что позволяет легко создавать необходимые отчеты и осуществлять автоматическую обработку данных.

- и многое другое.

Расходные материалы и аксессуары

К расходным материалам и аксессуарам
Мы предлагаем широкий выбор расходных материалов и аксессуаров для зондовой атомно-силовой и электронной микроскопии по категориям:
Похожее оборудование
Голографические профилометры отраженного света
Идеальные инструменты для точных измерений оптической топографии большого разнообразия образцов.
Голографические профилометры проходящего света
Являются единственными в своем роде оптическими профилометрами, предназначенными для инспекции поверхности в проходящем свете.
Оптический профилометр KLA Zeta-20
Настольный оптический профилометр, оснащенный запатентованной технологией ZDot и гибкой многорежимной оптикой для измерений 3D топографии поверхности, толщины пленок и автоматического контроля дефектов.
Оптический профилометр KLA Zeta-388
Напольный оптический профилометр с кассетной загрузкой для автоматической инспекции и метрологии, оснащенный запатентованной технологией ZDot и гибкой многорежимной оптикой для измерений 3D топографии поверхности, толщины пленок и автоматического контроля дефектов.
Оптический профилометр KLA-Tencor MicroXAM-800
Интерферометр белого света (профилометр) для 3D анализа топологии поверхности.
Оптический профилометр Profilm3D
Доступные по цене бесконтактные системы анализа 3D-рельефа поверхности на основе интерферометрии белого света (WLI).
Промышленные стилусные профилометры Toho FP
Датчик KLA-Tencor. Измерение профиля поверхности полупроводниковых пластин в широком диапазоне значений, с высокой степенью автоматизации.
Стилусный профилометр HRP-260
Стилусный профилометр KLA-Tencor HRP-260 для измерения профиля поверхности пластин до 200 мм.
Стилусный профилометр KLA-Tencor Alpha-Step D-500
Может быстро и качественно провести анализ 2D-топографии поверхности размером до 30 мм.
Стилусный профилометр KLA-Tencor Alpha-Step D-600
Отличается возможностью размещения 200 мм пластин, наличию сервопривода предметного стола и опцией измерения механических напряжений, возникающих после нанесения тонких пленок.
Стилусный профилометр KLA-Tencor P-7
Платформа среднего класса, которая сочетает в себе все превосходные функции сканирования, присущие бренду KLA Instruments, производительность и одну из самых доступных цен среди аналогов.
Стилусный профилометр KLA-Tencor P-17
Представляют серию профилометров, специально разработанных для обеспечения потребностей мелкосерийных производств в профессиональном контроле.
Стилусный профилометр KLA-Tencor P-170
Кассетный профилометр, позволяющий проводить измерения в диапазоне от нескольких нанометров до одного миллиметра сразу у нескольких образцов в режиме 24/7.

Сервис и ремонт измерительного оборудования

Выезд сервис-инженера
В кратчайшие сроки к вам приедет наш сервисный инженер для проведения ремонта.
Сервисный договор
Обслуживание «под ключ»: график выездов, экстренные выезды,склад запчастей «быстрого реагирования».
Диагностика и ремонт
Ремонтируем аналитическое и лабораторное оборудование всех ведущих марок, как представляемых эксклюзивно нами, так и сторонних производителей.
Гарантия и качество
Большой опыт оказания услуг по сервисному обслуживанию и ремонту измерительного оборудования.
Сервис оборудования

ФОРМА ДЛЯ
ОБРАТНОЙ СВЯЗИ

Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.

Напишите свой вопрос, укажите интересующее оборудование.

Наша почта
sales@imc-systems.ru
Наш телефон
+7 (495) 374-04-01