Оптические профилометры Profilm3D и Profilm3D-200 представляют собой доступные по цене бесконтактные системы анализа 3D-рельефа поверхности на основе интерферометрии белого света (WLI). Серия Profilm3D измеряет особенности поверхности в масштабе от нанометра до миллиметра, создавая изображения высокого разрешения и изображения TotalFocus™ (потрясающие 3D-изображения с естественными цветами, в которых каждый пиксель находится в фокусе). Простая и гибкая настройка, позволяющая выполнять однократное сканирование, или автоматические измерения на нескольких объектах — Profilm3D будет интересен как при фундаментальных исследованиях, так и при техническом контроле на производстве.

В методе измерения, заложенном в Profilm3D, разрешение при измерениях по вертикали не зависит от числовой апертуры объектива, что позволяет выполнять их с большим полем зрения. Измеряемую площадь можно дополнительно увеличить, объединив несколько полей зрения в одно измерение.

Profilm3D также имеет простой пользовательский интерфейс и несколько шаблонов работы, для быстрой настройки в зависимости от поставленных задач. Программный пакет Profilm® включает в себя передовые облачные веб-сервисы ProfilmOnline®, мобильные приложения для Android и iOS, а также передовое программное обеспечение Profilm для настольных ПК, обеспечивающее гибкие решения для хранения, визуализации и анализа данных.

KLA Profilm3D

Автоматизированный столик XY имеет диапазон хода 100 мм x 100 мм (Profilm3D) и 200 мм x 200 мм (Profilm3D-200)

Поддерживается автоматическая фокусировка (ход 100 мм)

Наклонный столик имеет ход +/- 5°

Объектив имеет 10-кратное увеличение и поле зрения шириной 2 мм

Отличные повторяемость и воспроизводимость производимых измерений

Усовершенствованное многоязычное программное обеспечение для анализа поверхностей, максимально информативное, обладающее впечатляющим функционалом, позволяющее максимально автоматизировать процесс работы

Возможность автоматического определения шага и автосканирования, что может существенно упростить работу пользователей

Оптическая система Profilm3D предоставляет следующий спектр возможностей, доступных для профилометра подобного класса:

  • анализ топографии, оценка высоты ступеньки, текстуры и формы образца за счет полученных в высоком разрешении 3D изображений поверхности.
  • оценка текстуры и степени шероховатости поверхностей
  • анализ формы образцов и их степени изгиба
  • исследование дефектов поверхности в высоким разрешением
  • интерферометрия с вертикальным сканированием и фазовым сдвигом для измерения характеристик поверхности от нанометров до миллиметров
  • автоматизированный столик XY  имеет большой диапазон перемещений и отлично подходит для картографирования и сшивания нескольких сканов
  • интуитивно понятный программный пакет
  • визуализация за счет пакета TotalFocus, обеспечивающая потрясающие изображения True Color с фокусом на каждом пикселе (даже на поверхностях с изменением высоты, превышающим глубину резкости объектива).
  • и многое другое.

Оптический профилометр Zeta-20 может выполнять широкий спектр измерений и приложений:

  • поверхностная характеристика и планаризация полупроводниковых элементов, что позволит улучшить их характеристики и уменьшить процент выпускаемого брака;
  • измерение высоты, компланарности и степени шероховатости полупроводниковых элементов, устанавливаемых по технологии Flip Chip;
  • анализ дефектов (царапины, сколы, трещины и т.д.), измерение параметров шероховатости, высоты/глубины структуры, высоты ступеньки, характеризация текстуры и многое другое для элементов устройств хранения данных: жестких дисков, оптических и магнитных носителей информации;
  • MEMS и элементы оптоэлектроники (кривизна микролинз, анализ линий, окружностей, углов измерение ширины и расстояния);
  • автоматическая оценка глубины травления;
  • оценка параметров материалов

Техническое описание доступно по запросу, а так же на сайте производителя.