
Стилусный профилометр KLA-Tencor HRP-260 предназначен для измерения профиля поверхности пластин на полупроводниковых и оптоэлектронных производствах с высоким разрешением и кассетной загрузкой/выгрузкой. Профилометр поддерживает измерения высоты ступенек от нескольких нанометров до 300 мкм с поддержкой 2D и 3D измерений профиля поверхности, шероховатости, коробления, механических напряжений. Длина трассы измерения профиля позволяет без сшивки измерять пластины диаметром до 200 мм.