Стилусный профилометр KLA-Tencor HRP-260 предназначен для измерения профиля поверхности пластин на полупроводниковых и оптоэлектронных производствах с высоким разрешением и кассетной загрузкой/выгрузкой. Профилометр поддерживает измерения высоты ступенек от нескольких нанометров до 300 мкм с поддержкой 2D и 3D измерений профиля поверхности, шероховатости, коробления, механических напряжений. Длина трассы измерения профиля позволяет без сшивки измерять пластины диаметром до 200 мм.

Технические характеристики стилусного профилометра HRP-260

  • Высота ступеньки профиля до 327 мкм
  • Усилие воздействия стилуса на поверхность пластины 0.03 — 50 мг (выбирается оператором)
  • Сканирование всей пластины без сшивки данных
  • Визуализация сканирования с помощью оптики с переменным коэффициентом увеличения
  • Предотвращение отрыва стилуса от поверхности при проходе ступенек
  • Интуитивно понятный графический пользовательский интерфейс
  • Автоматизированные алгоритмы сканирования больших объемов пластин, поддержка внешних АСУ
  • Высокая разрешающая способность (сравнимая с современными атомно-силовыми микроскопами)

Стилусный профилометр HRP®-260 предназначен для измерения профиля поверхности полупроводниковых пластин с высокой точностью, производительностью и воспроизводимостью результатов. Прибор позволяет измерять топологию поверхности чистых пластин и пластин с функциональными покрытиями на производстве полупроводниковых подложек, составных полупроводников, светодиодных кристаллов и других.

Принцип работы HRP-260 основан на сканировании поверхности пластины подвижным предметным столиком, размещенным на оптически плоской массивной базе. Считывание профиля осуществляется с помощью запатентованного пьезоэлектрического датчика UltraLite® . Такая схема организации измерений позволяет получать профили поверхности длиной до 200 мм без необходимости сшивки данных. По всей длине трассы сканирования профилометр обеспечивает высокую воспроизводимость измерений, постоянство и контроль усилия воздействия стилуса на поверхность.

KLA Innovations

Техническое описание доступно по запросу, а так же на сайте производителя.