Голографические микроскопы и профилометры

Стилусный профилометр KLA-Tencor P-7

Стилусный профилометр KLA-Tencor P-7
Стилусный профилометр KLA-Tencor P-7
Стилусный профилометр KLA-Tencor P-7
Стилусный профилометр KLA-Tencor P-7
Стилусный профилометр KLA-Tencor P-7

Описание оборудования

   Профилометр P-7 от фирмы KLA Instruments является одним из самых распространенных на рынке приборов для оценки параметров полупроводниковых материалов, систем хранения данных, MEMS, элементов солнечной энергетики, оптоэлектроники и многое другое. Эта платформа среднего класса сочетает в себе все превосходные функции сканирования, присущие бренду KLA (программируемые режимы сканирования, низкий уровень шума и высокое качество и разрешение протяженных сканирований), производительность и одну из самых доступных цен среди аналогов.
   Стандартная длина сканирования у системы для профилометрии P-7 составляет 150 мм (без необходимости сшивания). Благодаря возможностям датчика UltraLite® обеспечиваются динамическое управление усилием, превосходная линейность и высочайшее разрешение по вертикали. Кроме того, программное обеспечение системы имеет интуитивно понятный интерфейс, богатый функционал (как например, возможность проведения измерений без дополнительной подготовки «point-and-click») и многое другое. Представленный профилометр KLA Instruments серии P-7 является отличным решением по доступной цене для университетов, научно-исследовательских институтов и различных испытательных лабораторий.
   KLA-Tencor P-7 может выполнять широкий спектр измерений и приложений:

- поверхностная характеристика и планаризация;
- измерение высоты, компланарности и степени шероховатости;
- исследование дефектов (царапины, сколы, трещины и т.д.), высоты/глубины структуры, высоты ступеньки, характеризация текстуры;
- анализ кривизны поверхности: линий, окружностей, углов измерение ширины и расстояния;
- оценка глубины травления;
- характеризация пленок
- оценка напряжений
Особенности профилометра

KLA-Tencor P-7

- Диапазон сканирования: до 150 мм (без сшивания)

- Максимальный вертикальный диапазон до 1000 мкм

- Минимальный уровень шума, высокие линейность и чувствительность измерений во всем Z-диапазоне

- Стандартный стилус имеет радиус 2 мкм, доступны варианты с радиусом от субмикронных значений до 25 мкм

- Обширный функционал, включая Apex 2D, 20-позиционную секвенцию и двухобъективную оптическую систему

- Усовершенствованное многоязычное программное обеспечение Apex для анализа поверхностей, максимально информативное, обладающее впечатляющим функционалом, позволяющее максимально автоматизировать процесс работы
Широчайший спектр специальных возможностей

- 3D сканирование позволяет получать фотореалистичные снимки поверхности, за счет чего возможно проводить детальный анализ топографии поверхности, оценивая высоту ступеньки, текстуру и форму образца.

- 2D анализ напряжений: рассчитайте нагрузку на подложку, сравнив ее изгиб до и после обработки. Используйте модели аппроксимации полиномиальной кривой для расчета среднего, минимального и максимального напряжения в МПа.

- Предметный столик (150 мм) позволяет проводить XY-сканирование без сшивания нескольких профилей. Благодаря сенсору с малым усилием (0,03 мг) и возможностям измерения в Z-диапазоне до 1000 мкм обеспечивается высочайший уровень качества получаемых 2D и 3D при работе с полупроводниковыми приборами, чувствительной электроникой, тонкими пленками и т.д.

- Оптический датчик с разрешением ниже 1 A обеспечивает наиболее высокую прецизионность измерений. Благодаря ему возможны измерения высоты на уровне всего 1 нм при воспроизводимости 4Å или 0,1% (1σ) и минимальным уровнем шума (ниже 1 нм RMS). Эти характеристики обеспечиваются специально подобранной электроникой, емкостным датчиком с разрешением менее ангстрема и за счет превосходной плоскостности сканирования.

- Программное обеспечение Apex позволяет осуществлять фильтрацию, выравнивание и анализ всех полученных изображений. Оно включает в себя более 40 ключевых надстроек и параметров для анализа глубины, высоты ступеньки, шероховатости, волнистости, наклона, плоскостности, радиуса кривизны, напряжения, протяженности, формы и распределения количества пиков и многое другое. Apex полностью совместим со стандартным ПО профилометра, имеет простой и интуитивно понятный интерфейс, что позволяет легко создавать необходимые отчеты и осуществлять автоматическую обработку данных.

- и многое другое.

Расходные материалы и аксессуары

К расходным материалам и аксессуарам
Мы предлагаем широкий выбор расходных материалов и аксессуаров для зондовой атомно-силовой и электронной микроскопии по категориям:
Похожее оборудование
Голографические профилометры отраженного света
Идеальные инструменты для точных измерений оптической топографии большого разнообразия образцов.
Голографические профилометры проходящего света
Являются единственными в своем роде оптическими профилометрами, предназначенными для инспекции поверхности в проходящем свете.
Оптический профилометр KLA Zeta-20
Настольный оптический профилометр, оснащенный запатентованной технологией ZDot и гибкой многорежимной оптикой для измерений 3D топографии поверхности, толщины пленок и автоматического контроля дефектов.
Оптический профилометр KLA Zeta-300
Оптический профилометр для работы с крупными образцами, оснащенный запатентованной технологией ZDot и гибкой многорежимной оптикой для измерений 3D топографии поверхности, толщины пленок и автоматического контроля дефектов.
Оптический профилометр KLA Zeta-388
Напольный оптический профилометр с кассетной загрузкой для автоматической инспекции и метрологии, оснащенный запатентованной технологией ZDot и гибкой многорежимной оптикой для измерений 3D топографии поверхности, толщины пленок и автоматического контроля дефектов.
Оптический профилометр KLA-Tencor MicroXAM-800
Интерферометр белого света (профилометр) для 3D анализа топологии поверхности.
Оптический профилометр Profilm3D
Доступные по цене бесконтактные системы анализа 3D-рельефа поверхности на основе интерферометрии белого света (WLI).
Промышленные стилусные профилометры Toho FP
Датчик KLA-Tencor. Измерение профиля поверхности полупроводниковых пластин в широком диапазоне значений, с высокой степенью автоматизации.
Стилусный профилометр HRP-260
Стилусный профилометр KLA-Tencor HRP-260 для измерения профиля поверхности пластин до 200 мм.
Стилусный профилометр KLA-Tencor Alpha-Step D-500
Может быстро и качественно провести анализ 2D-топографии поверхности размером до 30 мм.
Стилусный профилометр KLA-Tencor Alpha-Step D-600
Отличается возможностью размещения 200 мм пластин, наличию сервопривода предметного стола и опцией измерения механических напряжений, возникающих после нанесения тонких пленок.
Стилусный профилометр KLA-Tencor P-17
Представляют серию профилометров, специально разработанных для обеспечения потребностей мелкосерийных производств в профессиональном контроле.
Стилусный профилометр KLA-Tencor P-170
Кассетный профилометр, позволяющий проводить измерения в диапазоне от нескольких нанометров до одного миллиметра сразу у нескольких образцов в режиме 24/7.

Сервис и ремонт измерительного оборудования

Выезд сервис-инженера
В кратчайшие сроки к вам приедет наш сервисный инженер для проведения ремонта.
Сервисный договор
Обслуживание «под ключ»: график выездов, экстренные выезды,склад запчастей «быстрого реагирования».
Диагностика и ремонт
Ремонтируем аналитическое и лабораторное оборудование всех ведущих марок, как представляемых эксклюзивно нами, так и сторонних производителей.
Гарантия и качество
Большой опыт оказания услуг по сервисному обслуживанию и ремонту измерительного оборудования.
Сервис оборудования

ФОРМА ДЛЯ
ОБРАТНОЙ СВЯЗИ

Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.

Напишите свой вопрос, укажите интересующее оборудование.

Наша почта
sales@imc-systems.ru
Наш телефон
+7 (495) 374-04-01