Профилометр P-7 от фирмы KLA Instruments является одним из самых распространенных на рынке приборов для оценки параметров полупроводниковых материалов, систем хранения данных, MEMS, элементов солнечной энергетики, оптоэлектроники и многое другое. Эта платформа среднего класса сочетает в себе все превосходные функции сканирования, присущие бренду KLA (программируемые режимы сканирования, низкий уровень шума и высокое качество и разрешение протяженных сканирований), производительность и одну из самых доступных цен среди аналогов.
Стандартная длина сканирования у системы для профилометрии P-7 составляет 150 мм (без необходимости сшивания). Благодаря возможностям датчика UltraLite® обеспечиваются динамическое управление усилием, превосходная линейность и высочайшее разрешение по вертикали. Кроме того, программное обеспечение системы имеет интуитивно понятный интерфейс, богатый функционал (как например, возможность проведения измерений без дополнительной подготовки «point-and-click») и многое другое. Представленный профилометр KLA Instruments серии P-7 является отличным решением по доступной цене для университетов, научно-исследовательских институтов и различных испытательных лабораторий.
KLA-Tencor P-7 может выполнять широкий спектр измерений и приложений:
- измерение высоты, компланарности и степени шероховатости;
- исследование дефектов (царапины, сколы, трещины и т.д.), высоты/глубины структуры, высоты ступеньки, характеризация текстуры;
- анализ кривизны поверхности: линий, окружностей, углов измерение ширины и расстояния;
- оценка глубины травления;
- характеризация пленок
- оценка напряжений