Профилометр P-7 от фирмы KLA Instruments является одним из самых распространенных на рынке приборов для оценки параметров полупроводниковых материалов, систем хранения данных, MEMS, элементов солнечной энергетики, оптоэлектроники и многое другое. Эта платформа среднего класса сочетает в себе все превосходные функции сканирования, присущие бренду KLA (программируемые режимы сканирования, низкий уровень шума и высокое качество и разрешение протяженных сканирований), производительность и одну из самых доступных цен среди аналогов.
Стандартная длина сканирования у системы для профилометрии P-7 составляет 150 мм (без необходимости сшивания). Благодаря возможностям датчика UltraLite® обеспечиваются динамическое управление усилием, превосходная линейность и высочайшее разрешение по вертикали. Кроме того, программное обеспечение системы имеет интуитивно понятный интерфейс, богатый функционал (как например, возможность проведения измерений без дополнительной подготовки «point-and-click») и многое другое. Представленный профилометр KLA Instruments серии P-7 является отличным решением по доступной цене для университетов, научно-исследовательских институтов и различных испытательных лабораторий.

Диапазон сканирования: до 150 мм (без сшивания)

Максимальный вертикальный диапазон до 1000 мкм

Минимальный уровень шума, высокие линейность и чувствительность измерений во всем Z-диапазоне

Стандартный стилус имеет радиус 2 мкм, доступны варианты с радиусом от субмикронных значений до 25 мкм

Обширный функционал, включая Apex 2D, 20-позиционную секвенцию и двухобъективную оптическую систему

Усовершенствованное многоязычное программное обеспечение Apex для анализа поверхностей, максимально информативное, обладающее впечатляющим функционалом, позволяющее максимально автоматизировать процесс работы

Система KLA-Tencor P-7 предоставляет широчайший спектр специальных возможностей, доступных для профилометра подобного класса:

  • 3D сканирование позволяет получать фотореалистичные снимки поверхности, за счет чего возможно проводить детальный анализ топографии поверхности, оценивая высоту ступеньки, текстуру и форму образца.
  • 2D анализ напряжений: рассчитайте нагрузку на подложку, сравнив ее изгиб до и после обработки. Используйте модели аппроксимации полиномиальной кривой для расчета среднего, минимального и максимального напряжения в МПа.
  • Предметный столик (150 мм) позволяет проводить XY-сканирование без сшивания нескольких профилей. Благодаря сенсору с малым усилием (0,03 мг) и возможностям измерения в Z-диапазоне до 1000 мкм обеспечивается высочайший уровень качества получаемых 2D и 3D при работе с полупроводниковыми приборами, чувствительной электроникой, тонкими пленками и т.д.
  • Оптический датчик с разрешением ниже 1 A обеспечивает наиболее высокую прецизионность измерений. Благодаря ему возможны измерения высоты на уровне всего 1 нм при воспроизводимости 4Å или 0,1% (1σ) и минимальным уровнем шума (ниже 1 нм RMS). Эти характеристики обеспечиваются специально подобранной электроникой, емкостным датчиком с разрешением менее ангстрема и за счет превосходной плоскостности сканирования.
  • Программное обеспечение Apex позволяет осуществлять фильтрацию, выравнивание и анализ всех полученных изображений. Оно включает в себя более 40 ключевых надстроек и параметров для анализа глубины, высоты ступеньки, шероховатости, волнистости, наклона, плоскостности, радиуса кривизны, напряжения, протяженности, формы и распределения количества пиков и многое другое. Apex полностью совместим со стандартным ПО профилометра, имеет простой и интуитивно понятный интерфейс, что позволяет легко создавать необходимые отчеты и осуществлять автоматическую обработку данных.
  • и многое другое.

KLA-Tencor P-7 может выполнять широкий спектр измерений и приложений:

  • поверхностная характеристика и планаризация;
  • измерение высоты, компланарности и степени шероховатости;
  • исследование дефектов (царапины, сколы, трещины и т.д.), высоты/глубины структуры, высоты ступеньки, характеризация текстуры;
  • анализ кривизны поверхности: линий, окружностей, углов измерение ширины и расстояния;
  • оценка глубины травления;
  • характеризация пленок
  • оценка напряжений

Техническое описание доступно по запросу, а так же на сайте производителя.