Это кассетный профилометр, позволяющий проводить в рабочих условиях измерения высоты ступеньки в диапазоне от нескольких нанометров до одного миллиметра. Он совмещает в себе все лучшие стороны таких зарекомендовавших себя систем как KLA Tencor P17 и KLA Tencor HRP-260. Система поддерживает двухмерные и трехмерные анализы высоты ступеней (до 30 ступеней за одно сканирование), степеней шероховатости, изгиба и напряжения. При этом для всех измерений не требуется дополнительно сшивать изображения (для сканов < 200 мм). Также KLA Tencor P-170 имеет самые современные алгоритмы для распознавания образов, улучшенную оптику, программируемый рабочий столик, низкий уровень шума и усовершенствованную конструкцию, которые повышают надежность работ и обеспечивают возможность работы в режиме 24×7.
Профилировщик стилуса P-170 — это многоцелевой инструмент, разработанный для производственных сред, включая поддержку управления хостом через SECS/GEM. Возможные применения включают измерение высоты ступени, шероховатости и метрология для пластин AlTiC, GaAs, Si, SiC и сапфировых пластин. P-170 отвечает требованиям производства для оценки параметров полупроводников, силовых установок, элементов беспроводной связи, светодиодов и устройств хранения данных.
KLA-Tencor P-170 может выполнять широкий спектр измерений и приложений:
- измерение высоты, компланарности и степени шероховатости полупроводниковых элементов, устанавливаемых по технологии Flip Chip;
- анализ дефектов (царапины, сколы, трещины и т.д.), измерение параметров шероховатости, высоты/глубины структуры, высоты ступеньки, характеризация текстуры и многое другое для элементов устройств хранения данных: жестких дисков, оптических и магнитных носителей информации;
- MEMS и элементы оптоэлектроники (кривизна микролинз, анализ линий, окружностей, углов измерение ширины и расстояния);
- автоматическая оценка глубины травления;
- оценка параметров материалов
- анализ биологических объектов, керамических подложек, параметров фольги, тонких пленок, поверхностей после полировки или окраски и т.д.