KLA Tencor P-170 — это кассетный профилометр, позволяющий проводить в рабочих условиях измерения высоты ступеньки в диапазоне от нескольких нанометров до одного миллиметра. Он совмещает в себе все лучшие стороны таких зарекомендовавших себя систем как KLA Tencor P17 и KLA Tencor HRP-260. Система поддерживает двухмерные и трехмерные анализы высоты ступеней (до 30 ступеней за одно сканирование), степеней шероховатости, изгиба и напряжения. При этом для всех измерений не требуется дополнительно сшивать изображения (для сканов < 200 мм). Также KLA Tencor P-170 имеет самые современные алгоритмы для распознавания образов, улучшенную оптику, программируемый рабочий столик, низкий уровень шума и усовершенствованную конструкцию, которые повышают надежность работ и обеспечивают возможность работы в режиме 24×7.

Профилировщик стилуса P-170 — это многоцелевой инструмент, разработанный для производственных сред, включая поддержку управления хостом через SECS/GEM. Возможные применения включают измерение высоты ступени, шероховатости и метрология для пластин AlTiC, GaAs, Si, SiC и сапфировых пластин. P-170 отвечает требованиям производства для оценки параметров полупроводников, силовых установок, элементов беспроводной связи, светодиодов и устройств хранения данных.

KLA-Tencor P-170

Диапазон сканирования: до 200 мм (без сшивания), опционально до 300 мм

Максимальный Z-диапазон: до 1000 мкм,

Данные могут быть получены с разрешающей способностью < 1 А, что обеспечивает повторяемость порядка 4 Å на ступеньке 1 мкм

Усилие давления стилуса составляет очень малую величину и варьируется от 0,03 до 50 мг.

Датчик с самой низкой массой (0.03 мг) для сверхмягких образцов и ультратонких ступеней высотой менее 1 нм

Непревзойденная повторяемость и воспроизводимость производимых измерений

Обширный функционал, включая Apex 2D, 20-позиционную секвенцию и двухобъективную оптическую систему

Усовершенствованное многоязычное программное обеспечение Apex для анализа поверхностей, максимально информативное, обладающее впечатляющим функционалом, позволяющее максимально автоматизировать процесс работы

Возможность автоматического определения шага и автосканирования, что может существенно упростить работу пользователей

Работа с несколькими образцами одновременно, путем их загрузки в специальный держатель-кассету: возможны измерения для непрозрачных (например, кремний) и прозрачных (например, сапфир) пластин размером от 75 мм до 200 мм

Цветная видеокамера с высоким разрешением (5Мп)

Система KLA-Tencor P-170 предоставляет широчайший спектр специальных возможностей, доступных для профилометра подобного класса:

  • Работа с несколькими образцами одновременно, путем их загрузки в специальный держатель-кассету: возможны измерения для непрозрачных (например, кремний) и прозрачных (например, сапфир) пластин размером от 75 мм до 200 мм.
  • 3D сканирование позволяет получать фотореалистичные снимки поверхности, за счет чего возможно проводить детальный анализ топографии поверхности, оценивая высоту ступеньки, текстуру и форму образца.
  • 2D анализ напряжений: рассчитайте нагрузку на подложку, сравнив ее изгиб до и после обработки. Используйте модели аппроксимации полиномиальной кривой для расчета среднего, минимального и максимального напряжения в МПа.
  • Предметный столик (200 мм, опционально 300 мм) позволяет проводить XY-сканирование без сшивания нескольких профилей. Благодаря сенсору с малым усилием (0,03 мг) и возможностям измерения в Z-диапазоне до 1000 мкм обеспечивается высочайший уровень качества получаемых 2D и 3D при работе с полупроводниковыми приборами, чувствительной электроникой, тонкими пленками и т.д.
  • Оптический датчик с разрешением ниже 1 A обеспечивает наиболее высокую прецизионность измерений. Благодаря ему возможны измерения высоты на уровне всего 1 нм при воспроизводимости 4Å или 0,1% (1σ) и минимальным уровнем шума (ниже 1 нм RMS).
  • Профилометр оснащен передовой оптической системой с 2мя объективами, что позволяет получать больше неискаженной информации о поверхности и помогает более точно производить настройку прибора для дальнейших измерений.
  • Программное обеспечение Apex позволяет осуществлять фильтрацию, выравнивание и анализ всех полученных изображений. Оно включает в себя более 40 ключевых надстроек и параметров для анализа глубины, высоты ступеньки, шероховатости, волнистости, наклона, плоскостности, радиуса кривизны, напряжения, протяженности, формы и распределения количества пиков и многое другое. Apex полностью совместим со стандартным ПО профилометра, имеет простой и интуитивно понятный интерфейс, что позволяет легко создавать необходимые отчеты и осуществлять автоматическую обработку данных.
  • и многое другое.

KLA-Tencor P-170 может выполнять широкий спектр измерений и приложений:

  • поверхностная характеристика и планаризация полупроводниковых элементов, что позволит улучшить их характеристики и уменьшить процент выпускаемого брака;
  • измерение высоты, компланарности и степени шероховатости полупроводниковых элементов, устанавливаемых по технологии Flip Chip;
  • анализ дефектов (царапины, сколы, трещины и т.д.), измерение параметров шероховатости, высоты/глубины структуры, высоты ступеньки, характеризация текстуры и многое другое для элементов устройств хранения данных: жестких дисков, оптических и магнитных носителей информации;
  • MEMS и элементы оптоэлектроники (кривизна микролинз, анализ линий, окружностей, углов измерение ширины и расстояния);
  • автоматическая оценка глубины травления;
  • оценка параметров материалов
  • анализ биологических объектов, керамических подложек, параметров фольги, тонких пленок, поверхностей после полировки или окраски и т.д.

Техническое описание доступно по запросу, а так же на сайте производителя.