KLA-Tencor P-17 – это 8-е поколение стилусных профилометров серии P, основанное на более чем 35-летнем опыте компании в области профилометрии. В данной системе реализованы высококачественное сканирование с высоким разрешением, низкий уровень шума и программируемый сканирующий столик, что позволяет проводить измерения на различных поверхностях и для различных применений.

Стилусный профилометр KLA-Tencor P-17 среди аналогов имеет одни из лучших метрологических характеристик. Стандартная длина сканирования составляет 200 мм, что является лучшим показателем на рынке и благодаря чему обеспечивается возможность проведения измерений протяженных образцов без необходимости сшивания нескольких профилей. Датчик UltraLite®, имеющийся в приборе, обеспечивает динамический контроль силы, отличную линейность и высочайшее разрешение по вертикали. Также профилометр P-17 включает в себя множество функций для улучшения взаимодействия с пользователем: возможность визуального контроля сверху и сбоку, автоматизированный столик, программная коррекция получаемых снимков и многое другое.

Модификация P-17 OF (с открытым рабочим столиком) имеет все те же возможности, что и P-17. При этом для этого прибора реализована возможность загружать более крупные образцы: рабочий столик имеет размеры 9,5 на 9,5 дюймов или устанавливается держатель для образцов диаметром до 300 мм.

KLA-Tencor P-17

Диапазон сканирования: до 200 мм (без сшивания), опционально до 300 мм

Максимальный вертикальный диапазон до 1000 мкм,

Получение данных с разрешающей способностью < 1 А (что обеспечивает повторяемость порядка 4 Å на ступеньке 1 мкм)

Малые значения усилия давления стилуса от 0,03 до 50 мг.

Датчик с самой низкой массой (0.03 мг) для сверхмягких образцов и ультратонких ступеней высотой менее 1 нм

Непревзойденная повторяемость и воспроизводимость производимых измерений

Обширный функционал, включая Apex 2D, 20-позиционную секвенцию и двухобъективную оптическую систему

Усовершенствованное многоязычное программное обеспечение Apex для анализа поверхностей, максимально информативное, обладающее впечатляющим функционалом, позволяющее максимально автоматизировать процесс работы

Возможность автоматического определения шага и автосканирования, что может существенно упростить работу пользователей

Система KLA-Tencor P-17 предоставляет широчайший спектр специальных возможностей, доступных для профилометра подобного класса:

  • 3D сканирование позволяет получать фотореалистичные снимки поверхности, за счет чего возможно проводить детальный анализ топографии поверхности, оценивая высоту ступеньки, текстуру и форму образца.
  • 2D анализ напряжений: рассчитайте нагрузку на подложку, сравнив ее изгиб до и после обработки. Используйте модели аппроксимации полиномиальной кривой для расчета среднего, минимального и максимального напряжения в МПа.
  • Предметный столик (200 мм, опционально 300 мм) позволяет проводить XY-сканирование без сшивания нескольких профилей. Благодаря сенсору с малым усилием (0,03 мг) и возможностям измерения в Z-диапазоне до 1000 мкм обеспечивается высочайший уровень качества получаемых 2D и 3D при работе с полупроводниковыми приборами, чувствительной электроникой, тонкими пленками и т.д.
  • Оптический датчик с разрешением ниже 1 A обеспечивает наиболее высокую прецизионность измерений. Благодаря ему возможны измерения высоты на уровне всего 1 нм при воспроизводимости 4Å или 0,1% (1σ) и минимальным уровнем шума (ниже 1 нм RMS).
  • Профилометр оснащен передовой оптической системой с 2мя объективами, что позволяет получать больше неискаженной информации о поверхности и помогает более точно производить настройку прибора для дальнейших измерений.
  • Программное обеспечение Apex позволяет осуществлять фильтрацию, выравнивание и анализ всех полученных изображений. Оно включает в себя более 40 ключевых надстроек и параметров для анализа глубины, высоты ступеньки, шероховатости, волнистости, наклона, плоскостности, радиуса кривизны, напряжения, протяженности, формы и распределения количества пиков и многое другое. Apex полностью совместим со стандартным ПО профилометра, имеет простой и интуитивно понятный интерфейс, что позволяет легко создавать необходимые отчеты и осуществлять автоматическую обработку данных.
  • и многое другое.

KLA-Tencor P-17 может выполнять широкий спектр измерений и приложений:

  • поверхностная характеристика и планаризация полупроводниковых элементов, что позволит улучшить их характеристики и уменьшить процент выпускаемого брака;
  • измерение высоты, компланарности и степени шероховатости полупроводниковых элементов, устанавливаемых по технологии Flip Chip;
  • анализ дефектов (царапины, сколы, трещины и т.д.), измерение параметров шероховатости, высоты/глубины структуры, высоты ступеньки, характеризация текстуры и многое другое для элементов устройств хранения данных: жестких дисков, оптических и магнитных носителей информации;
  • MEMS и элементы оптоэлектроники (кривизна микролинз, анализ линий, окружностей, углов измерение ширины и расстояния);
  • автоматическая оценка глубины травления;
  • оценка параметров материалов
  • анализ биологических объектов, керамических подложек, параметров фольги, тонких пленок, поверхностей после полировки или окраски и т.д.

Техническое описание доступно по запросу, а так же на сайте производителя.