Голографические микроскопы и профилометры

Стилусный профилометр KLA-Tencor P-17

Стилусный профилометр KLA-Tencor P-17
Стилусный профилометр KLA-Tencor P-17
Стилусный профилометр KLA-Tencor P-17
Стилусный профилометр KLA-Tencor P-17
Стилусный профилометр KLA-Tencor P-17
Стилусный профилометр KLA-Tencor P-17

Описание оборудования

   Это 8-е поколение стилусных профилометров серии P, основанное на более чем 35-летнем опыте компании в области профилометрии. В данной системе реализованы высококачественное сканирование с высоким разрешением, низкий уровень шума и программируемый сканирующий столик, что позволяет проводить измерения на различных поверхностях и для различных применений.

   Стилусный профилометр KLA-Tencor P-17 среди аналогов имеет одни из лучших метрологических характеристик. Стандартная длина сканирования составляет 200 мм, что является лучшим показателем на рынке и благодаря чему обеспечивается возможность проведения измерений протяженных образцов без необходимости сшивания нескольких профилей. Датчик UltraLite®, имеющийся в приборе, обеспечивает динамический контроль силы, отличную линейность и высочайшее разрешение по вертикали. Также профилометр P-17 включает в себя множество функций для улучшения взаимодействия с пользователем: возможность визуального контроля сверху и сбоку, автоматизированный столик, программная коррекция получаемых снимков и многое другое.

   Модификация P-17 OF (с открытым рабочим столиком) имеет все те же возможности, что и P-17. При этом для этого прибора реализована возможность загружать более крупные образцы: рабочий столик имеет размеры 9,5 на 9,5 дюймов или устанавливается держатель для образцов диаметром до 300 мм.

   KLA-Tencor P-17 может выполнять широкий спектр измерений и приложений:

- поверхностная характеристика и планаризация полупроводниковых элементов, что позволит улучшить их характеристики и уменьшить процент выпускаемого брака;
- измерение высоты, компланарности и степени шероховатости полупроводниковых элементов, устанавливаемых по технологии Flip Chip;
- анализ дефектов (царапины, сколы, трещины и т.д.), измерение параметров шероховатости, высоты/глубины структуры, высоты ступеньки, характеризация текстуры и многое другое для элементов устройств хранения данных: жестких дисков, оптических и магнитных носителей информации;
- MEMS и элементы оптоэлектроники (кривизна микролинз, анализ линий, окружностей, углов измерение ширины и расстояния);
- автоматическая оценка глубины травления;
- оценка параметров материалов
- анализ биологических объектов, керамических подложек, параметров фольги, тонких пленок, поверхностей после полировки или окраски и т.д.
Особенности профилометра

KLA-Tencor P-17

- Диапазон сканирования: до 200 мм (без сшивания), опционально до 300 мм

- Максимальный вертикальный диапазон до 1000 мкм,

- Получение данных с разрешающей способностью < 1 А (что обеспечивает повторяемость порядка 4 Å на ступеньке 1 мкм)

- Малые значения усилия давления стилуса от 0,03 до 50 мг.

- Датчик с самой низкой массой (0.03 мг) для сверхмягких образцов и ультратонких ступеней высотой менее 1 нм

- Непревзойденная повторяемость и воспроизводимость производимых измерений

- Обширный функционал, включая Apex 2D, 20-позиционную секвенцию и двухобъективную оптическую систему

- Усовершенствованное многоязычное программное обеспечение Apex для анализа поверхностей, максимально информативное, обладающее впечатляющим функционалом, позволяющее максимально автоматизировать процесс работы

- Возможность автоматического определения шага и автосканирования, что может существенно упростить работу пользователей
Широчайший спектр специальных возможностей
- 3D сканирование позволяет получать фотореалистичные снимки поверхности, за счет чего возможно проводить детальный анализ топографии поверхности, оценивая высоту ступеньки, текстуру и форму образца.

- 2D анализ напряжений: рассчитайте нагрузку на подложку, сравнив ее изгиб до и после обработки. Используйте модели аппроксимации полиномиальной кривой для расчета среднего, минимального и максимального напряжения в МПа.

- Предметный столик (200 мм, опционально 300 мм) позволяет проводить XY-сканирование без сшивания нескольких профилей. Благодаря сенсору с малым усилием (0,03 мг) и возможностям измерения в Z-диапазоне до 1000 мкм обеспечивается высочайший уровень качества получаемых 2D и 3D при работе с полупроводниковыми приборами, чувствительной электроникой, тонкими пленками и т.д.

- Оптический датчик с разрешением ниже 1 A обеспечивает наиболее высокую прецизионность измерений. Благодаря ему возможны измерения высоты на уровне всего 1 нм при воспроизводимости 4Å или 0,1% (1σ) и минимальным уровнем шума (ниже 1 нм RMS).

- Профилометр оснащен передовой оптической системой с 2мя объективами, что позволяет получать больше неискаженной информации о поверхности и помогает более точно производить настройку прибора для дальнейших измерений.

- Программное обеспечение Apex позволяет осуществлять фильтрацию, выравнивание и анализ всех полученных изображений. Оно включает в себя более 40 ключевых надстроек и параметров для анализа глубины, высоты ступеньки, шероховатости, волнистости, наклона, плоскостности, радиуса кривизны, напряжения, протяженности, формы и распределения количества пиков и многое другое. Apex полностью совместим со стандартным ПО профилометра, имеет простой и интуитивно понятный интерфейс, что позволяет легко создавать необходимые отчеты и осуществлять автоматическую обработку данных.

- и многое другое.

Расходные материалы и аксессуары

К расходным материалам и аксессуарам
Мы предлагаем широкий выбор расходных материалов и аксессуаров для зондовой атомно-силовой и электронной микроскопии по категориям:
Похожее оборудование
Голографические профилометры отраженного света
Идеальные инструменты для точных измерений оптической топографии большого разнообразия образцов.
Голографические профилометры проходящего света
Являются единственными в своем роде оптическими профилометрами, предназначенными для инспекции поверхности в проходящем свете.
Оптический профилометр KLA Zeta-20
Настольный оптический профилометр, оснащенный запатентованной технологией ZDot и гибкой многорежимной оптикой для измерений 3D топографии поверхности, толщины пленок и автоматического контроля дефектов.
Оптический профилометр KLA Zeta-300
Оптический профилометр для работы с крупными образцами, оснащенный запатентованной технологией ZDot и гибкой многорежимной оптикой для измерений 3D топографии поверхности, толщины пленок и автоматического контроля дефектов.
Оптический профилометр KLA Zeta-388
Напольный оптический профилометр с кассетной загрузкой для автоматической инспекции и метрологии, оснащенный запатентованной технологией ZDot и гибкой многорежимной оптикой для измерений 3D топографии поверхности, толщины пленок и автоматического контроля дефектов.
Оптический профилометр KLA-Tencor MicroXAM-800
Интерферометр белого света (профилометр) для 3D анализа топологии поверхности.
Оптический профилометр Profilm3D
Доступные по цене бесконтактные системы анализа 3D-рельефа поверхности на основе интерферометрии белого света (WLI).
Промышленные стилусные профилометры Toho FP
Датчик KLA-Tencor. Измерение профиля поверхности полупроводниковых пластин в широком диапазоне значений, с высокой степенью автоматизации.
Стилусный профилометр HRP-260
Стилусный профилометр KLA-Tencor HRP-260 для измерения профиля поверхности пластин до 200 мм.
Стилусный профилометр KLA-Tencor Alpha-Step D-500
Может быстро и качественно провести анализ 2D-топографии поверхности размером до 30 мм.
Стилусный профилометр KLA-Tencor Alpha-Step D-600
Отличается возможностью размещения 200 мм пластин, наличию сервопривода предметного стола и опцией измерения механических напряжений, возникающих после нанесения тонких пленок.
Стилусный профилометр KLA-Tencor P-7
Платформа среднего класса, которая сочетает в себе все превосходные функции сканирования, присущие бренду KLA Instruments, производительность и одну из самых доступных цен среди аналогов.
Стилусный профилометр KLA-Tencor P-170
Кассетный профилометр, позволяющий проводить измерения в диапазоне от нескольких нанометров до одного миллиметра сразу у нескольких образцов в режиме 24/7.

Сервис и ремонт измерительного оборудования

Выезд сервис-инженера
В кратчайшие сроки к вам приедет наш сервисный инженер для проведения ремонта.
Сервисный договор
Обслуживание «под ключ»: график выездов, экстренные выезды,склад запчастей «быстрого реагирования».
Диагностика и ремонт
Ремонтируем аналитическое и лабораторное оборудование всех ведущих марок, как представляемых эксклюзивно нами, так и сторонних производителей.
Гарантия и качество
Большой опыт оказания услуг по сервисному обслуживанию и ремонту измерительного оборудования.
Сервис оборудования

ФОРМА ДЛЯ
ОБРАТНОЙ СВЯЗИ

Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.

Напишите свой вопрос, укажите интересующее оборудование.

Наша почта
sales@imc-systems.ru
Наш телефон
+7 (495) 374-04-01