Это 8-е поколение стилусных профилометров серии P, основанное на более чем 35-летнем опыте компании в области профилометрии. В данной системе реализованы высококачественное сканирование с высоким разрешением, низкий уровень шума и программируемый сканирующий столик, что позволяет проводить измерения на различных поверхностях и для различных применений.
Стилусный профилометр KLA-Tencor P-17 среди аналогов имеет одни из лучших метрологических характеристик. Стандартная длина сканирования составляет 200 мм, что является лучшим показателем на рынке и благодаря чему обеспечивается возможность проведения измерений протяженных образцов без необходимости сшивания нескольких профилей. Датчик UltraLite®, имеющийся в приборе, обеспечивает динамический контроль силы, отличную линейность и высочайшее разрешение по вертикали. Также профилометр P-17 включает в себя множество функций для улучшения взаимодействия с пользователем: возможность визуального контроля сверху и сбоку, автоматизированный столик, программная коррекция получаемых снимков и многое другое.
Модификация P-17 OF (с открытым рабочим столиком) имеет все те же возможности, что и P-17. При этом для этого прибора реализована возможность загружать более крупные образцы: рабочий столик имеет размеры 9,5 на 9,5 дюймов или устанавливается держатель для образцов диаметром до 300 мм.
KLA-Tencor P-17 может выполнять широкий спектр измерений и приложений:
- измерение высоты, компланарности и степени шероховатости полупроводниковых элементов, устанавливаемых по технологии Flip Chip;
- анализ дефектов (царапины, сколы, трещины и т.д.), измерение параметров шероховатости, высоты/глубины структуры, высоты ступеньки, характеризация текстуры и многое другое для элементов устройств хранения данных: жестких дисков, оптических и магнитных носителей информации;
- MEMS и элементы оптоэлектроники (кривизна микролинз, анализ линий, окружностей, углов измерение ширины и расстояния);
- автоматическая оценка глубины травления;
- оценка параметров материалов
- анализ биологических объектов, керамических подложек, параметров фольги, тонких пленок, поверхностей после полировки или окраски и т.д.