Профилометр Alpha-Step® D-600 характеризуется широким и многообразным функционалом, реализованным на простой в использовании платформе, и лучшим соотношением цены и производительности, доступным на рынке. Получение 2D и 3D изображений профиля и высоты ступенек с высоким разрешением, анализ 2D-напряжений в образце, измерение шероховатости и многое другое позволяют использовать данный прибор как для целей фундаментальных исследований, так и для промышленных производств.

Alpha-Step® D-600 включает 200-миллиметровый столик с сервоприводом и диапазоном движения 150 x 178 мм по осям XY. Специализированное программное обеспечение позволяет производить автоматическую коррекцию при возникновении смещений, запрограммировать на автоматическое выполнение измерений в 1000 различных точках образца и сшить несколько профилей в один. Система оснащена усовершенствованной оптикой, цветной камерой высокого разрешения 5 МП с 4-кратным цифровым зумом и улучшенными средствами управления видео для универсальной визуализации образцов.

Диапазон сканирования: до 200 мм (возможность сшивания нескольких профилей)

Максимальный вертикальный диапазон до 1200 мкм,

Получение данных с разрешающей способностью < 1 А (что обеспечивает повторяемость порядка 5 Å на ступеньке 1 мкм)

Малые значения усилия давления стилуса от 0,03 до 15 мг.

Многооконное представление рабочего пространства ПО, возможность размещать данные так, как необходимо пользователю

Датчик с самой низкой массой (0.03 мг) для сверхмягких образцов и ультратонких ступеней высотой менее 1 нм

Возможность автоматического определения шага и автосканирования, что может существенно упростить работу пользователей

Таблица результатов поддерживает стандартное «копирование» и «вставку» ОС Windows и экспортируется в любую электронную таблицу (.xls, .csv, .xlsx, и т.д.)

Возможность повторного анализа любого набора данных без дополнительных измерений

Система Alpha-Step® D-600 предоставляет широчайший спектр специальных возможностей, доступных для профилометра исследовательского класса:

  • 3D сканирование позволяет получать фотореалистичные снимки поверхности, за счет чего возможно проводить детальный анализ топографии поверхности, оценивая высоту ступеньки, текстуру и форму образца.
  • 2D анализ напряжений: рассчитайте нагрузку на подложку, сравнив ее изгиб до и после обработки. Используйте модели аппроксимации полиномиальной кривой для расчета среднего, минимального и максимального напряжения в МПа.
  • Предметный столик (200 мм) позволяет проводить XY-сканирование до 55 м за один проход или до 200 мм с использованием стандартной функции сшивания нескольких профилей. Благодаря сенсору с малым усилием (0,03 мг) и возможностям измерения в Z-диапазоне до 1200 мкм обеспечивается высочайший уровень качества измерений при работе с тонкими пленками, мягкими материалами, высокими ступеньками и т.д.
  • D-600 оснащен передовой оптикой, которая включает в себя цветную камеру высокого разрешения 5 МП с 4-кратным цифровым зумом и улучшенными элементами управления освещением.
  • Новое программное обеспечение автоматически устраняет искажения видеоизображения поверхности образца из-за наклона оптики. Также данное ПО позволяет устранить ошибку, возникающую во время сканирования, при движении по дуге. За счет этого повышается точность измерения углов боковых стенок и оценки ширины шага.
  • Оптический датчик с разрешением ниже 1 A обеспечивает наиболее высокую прецизионность измерений. Благодаря ему возможны измерения высоты на уровне всего 1 нм при воспроизводимости 6Å или 0,1% (1σ) и минимальным уровнем шума (ниже 1 нм RMS).
  • Многооконный интерфейс специализированного программного обеспечения позволяет пользователю постоянно получать и анализировать данные каждого сканирования. Панель управления, окна отображения данных, окно сканирования в реальном времени и окно результатов данных могут перемещаться или закрепляться в любом месте экрана. Эта функция дает пользователю полностью гибкую среду для сбора и анализа данных.
  • и многое другое.

Alpha-Step® D-600 может выполнять широкий спектр измерений и приложений:

  • профиль (форма и текстура) поверхности
  • точная оценка высоты ступеньки
  • анализ тонких пленок
  • исследование биологических объектов
  • MEMS
  • 3D-изображения
  • оценка параметров материалов
  • и многое другое

Техническое описание доступно по запросу, а так же на сайте производителя.