Голографические микроскопы и профилометры

Стилусный профилометр KLA-Tencor Alpha-Step D-600

Стилусный профилометр KLA-Tencor Alpha-Step D-600
Стилусный профилометр KLA-Tencor Alpha-Step D-600
Стилусный профилометр KLA-Tencor Alpha-Step D-600
Стилусный профилометр KLA-Tencor Alpha-Step D-600
Стилусный профилометр KLA-Tencor Alpha-Step D-600
Стилусный профилометр KLA-Tencor Alpha-Step D-600

Описание оборудования

   Профилометр Alpha-Step® D-600 характеризуется широким и многообразным функционалом, реализованным на простой в использовании платформе, и лучшим соотношением цены и производительности, доступным на рынке. Получение 2D и 3D изображений профиля и высоты ступенек с высоким разрешением, анализ 2D-напряжений в образце, измерение шероховатости и многое другое позволяют использовать данный прибор как для целей фундаментальных исследований, так и для промышленных производств.

   Alpha-Step® D-600 включает 200-миллиметровый столик с сервоприводом и диапазоном движения 150 x 178 мм по осям XY. Специализированное программное обеспечение позволяет производить автоматическую коррекцию при возникновении смещений, запрограммировать на автоматическое выполнение измерений в 1000 различных точках образца и сшить несколько профилей в один. Система оснащена усовершенствованной оптикой, цветной камерой высокого разрешения 5 МП с 4-кратным цифровым зумом и улучшенными средствами управления видео для универсальной визуализации образцов.

   Alpha-Step® D-600 может выполнять широкий спектр измерений и приложений:

- профиль (форма и текстура) поверхности
- точная оценка высоты ступеньки
- анализ тонких пленок
- исследование биологических объектов
- MEMS
- 3D-изображения
- оценка параметров материалов
- и многое другое
Особенности профилометра

KLA-Tencor Alpha-Step D-600

- Диапазон сканирования: до 200 мм (возможность сшивания нескольких профилей)

- Максимальный вертикальный диапазон до 1200 мкм,

- Получение данных с разрешающей способностью < 1 А (что обеспечивает повторяемость порядка 5 Å на ступеньке 1 мкм)

- Малые значения усилия давления стилуса от 0,03 до 15 мг.

- Многооконное представление рабочего пространства ПО, возможность размещать данные так, как необходимо пользователю

- Датчик с самой низкой массой (0.03 мг) для сверхмягких образцов и ультратонких ступеней высотой менее 1 нм

- Возможность автоматического определения шага и автосканирования, что может существенно упростить работу пользователей

- Таблица результатов поддерживает стандартное «копирование» и «вставку» ОС Windows и экспортируется в любую электронную таблицу (.xls, .csv, .xlsx, и т.д.)

- Возможность повторного анализа любого набора данных без дополнительных измерений
Широчайший спектр специальных возможностей
- 3D сканирование позволяет получать фотореалистичные снимки поверхности, за счет чего возможно проводить детальный анализ топографии поверхности, оценивая высоту ступеньки, текстуру и форму образца.

- 2D анализ напряжений: рассчитайте нагрузку на подложку, сравнив ее изгиб до и после обработки. Используйте модели аппроксимации полиномиальной кривой для расчета среднего, минимального и максимального напряжения в МПа.

- Предметный столик (200 мм) позволяет проводить XY-сканирование до 55 м за один проход или до 200 мм с использованием стандартной функции сшивания нескольких профилей. Благодаря сенсору с малым усилием (0,03 мг) и возможностям измерения в Z-диапазоне до 1200 мкм обеспечивается высочайший уровень качества измерений при работе с тонкими пленками, мягкими материалами, высокими ступеньками и т.д.

- D-600 оснащен передовой оптикой, которая включает в себя цветную камеру высокого разрешения 5 МП с 4-кратным цифровым зумом и улучшенными элементами управления освещением.

- Новое программное обеспечение автоматически устраняет искажения видеоизображения поверхности образца из-за наклона оптики. Также данное ПО позволяет устранить ошибку, возникающую во время сканирования, при движении по дуге. За счет этого повышается точность измерения углов боковых стенок и оценки ширины шага.

- Оптический датчик с разрешением ниже 1 A обеспечивает наиболее высокую прецизионность измерений. Благодаря ему возможны измерения высоты на уровне всего 1 нм при воспроизводимости 6Å или 0,1% (1σ) и минимальным уровнем шума (ниже 1 нм RMS).

- Многооконный интерфейс специализированного программного обеспечения позволяет пользователю постоянно получать и анализировать данные каждого сканирования. Панель управления, окна отображения данных, окно сканирования в реальном времени и окно результатов данных могут перемещаться или закрепляться в любом месте экрана. Эта функция дает пользователю полностью гибкую среду для сбора и анализа данных.

- и многое другое.

Расходные материалы и аксессуары

К расходным материалам и аксессуарам
Мы предлагаем широкий выбор расходных материалов и аксессуаров для зондовой атомно-силовой и электронной микроскопии по категориям:
Похожее оборудование
Голографические профилометры отраженного света
Идеальные инструменты для точных измерений оптической топографии большого разнообразия образцов.
Голографические профилометры проходящего света
Являются единственными в своем роде оптическими профилометрами, предназначенными для инспекции поверхности в проходящем свете.
Оптический профилометр KLA Zeta-20
Настольный оптический профилометр, оснащенный запатентованной технологией ZDot и гибкой многорежимной оптикой для измерений 3D топографии поверхности, толщины пленок и автоматического контроля дефектов.
Оптический профилометр KLA Zeta-300
Оптический профилометр для работы с крупными образцами, оснащенный запатентованной технологией ZDot и гибкой многорежимной оптикой для измерений 3D топографии поверхности, толщины пленок и автоматического контроля дефектов.
Оптический профилометр KLA Zeta-388
Напольный оптический профилометр с кассетной загрузкой для автоматической инспекции и метрологии, оснащенный запатентованной технологией ZDot и гибкой многорежимной оптикой для измерений 3D топографии поверхности, толщины пленок и автоматического контроля дефектов.
Оптический профилометр KLA-Tencor MicroXAM-800
Интерферометр белого света (профилометр) для 3D анализа топологии поверхности.
Оптический профилометр Profilm3D
Доступные по цене бесконтактные системы анализа 3D-рельефа поверхности на основе интерферометрии белого света (WLI).
Промышленные стилусные профилометры Toho FP
Датчик KLA-Tencor. Измерение профиля поверхности полупроводниковых пластин в широком диапазоне значений, с высокой степенью автоматизации.
Стилусный профилометр HRP-260
Стилусный профилометр KLA-Tencor HRP-260 для измерения профиля поверхности пластин до 200 мм.
Стилусный профилометр KLA-Tencor Alpha-Step D-500
Может быстро и качественно провести анализ 2D-топографии поверхности размером до 30 мм.
Стилусный профилометр KLA-Tencor P-7
Платформа среднего класса, которая сочетает в себе все превосходные функции сканирования, присущие бренду KLA Instruments, производительность и одну из самых доступных цен среди аналогов.
Стилусный профилометр KLA-Tencor P-17
Представляют серию профилометров, специально разработанных для обеспечения потребностей мелкосерийных производств в профессиональном контроле.
Стилусный профилометр KLA-Tencor P-170
Кассетный профилометр, позволяющий проводить измерения в диапазоне от нескольких нанометров до одного миллиметра сразу у нескольких образцов в режиме 24/7.

Сервис и ремонт измерительного оборудования

Выезд сервис-инженера
В кратчайшие сроки к вам приедет наш сервисный инженер для проведения ремонта.
Сервисный договор
Обслуживание «под ключ»: график выездов, экстренные выезды,склад запчастей «быстрого реагирования».
Диагностика и ремонт
Ремонтируем аналитическое и лабораторное оборудование всех ведущих марок, как представляемых эксклюзивно нами, так и сторонних производителей.
Гарантия и качество
Большой опыт оказания услуг по сервисному обслуживанию и ремонту измерительного оборудования.
Сервис оборудования

ФОРМА ДЛЯ
ОБРАТНОЙ СВЯЗИ

Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.

Напишите свой вопрос, укажите интересующее оборудование.

Наша почта
sales@imc-systems.ru
Наш телефон
+7 (495) 374-04-01