Голографические микроскопы и профилометры

Стилусный профилометр KLA-Tencor Alpha-Step D-500

Стилусный профилометр KLA-Tencor Alpha-Step D-500
Стилусный профилометр KLA-Tencor Alpha-Step D-500
Стилусный профилометр KLA-Tencor Alpha-Step D-500
Стилусный профилометр KLA-Tencor Alpha-Step D-500

Описание оборудования

   Настольные стилусные профилометры Alpha-Step® D-500 KLA-Tencor Development Series предлагают наиболее полный набор решений для проведения качественных измерений с точностью достаточной как для научных исследований и разработок, так и для промышленного производства. Эти приборы являются достойными представителями в своем классе, при этом выгодно отличаются от аналогов качеством исполнения, функциональностью и метрологическими характеристиками.

   Профилометр Alpha-Step® D-500 может быстро и качественно провести анализ 2D-топографии поверхности размером до 30 мм. Кроме того ее отличают:

- широкий Z-диапазон (до 1,2 миллиметра);

- разрешающая способность < 1 Å;

- повторяемость шага по высоте – 6 Å или 0,1%;

- 140-миллиметровый ручной столик для позиционирования образца по осям XY;

- и многие другие функции.

   Интерфейс специально разработанного ПО имеет многооконный режим и гибкие возможности настройки. Все рабочие окна программы независимы: панели управления и окна отображения данных, окно сканирования в реальном времени, окно результатов данных могут перемещаться или закрепляться в любом месте экрана. Эта функция дает пользователю полностью гибкую среду для сбора и анализа данных.

   Alpha-Step® D-500 может выполнять широкий спектр измерений и приложений:

- профиль (форма и текстура) поверхности

- точная оценка высоты ступеньки

- анализ тонких пленок

- исследование биологических объектов

- анализ MEMS

- оценка параметров материалов

- и многое другое

Особенности профилометра

KLA-Tencor Alpha-Step D-500

- Диапазон сканирования: до 30 мм

- Очень быстрый цикл измерений: загрузка образца, настройка и измерения

- Возможность загрузки до 10 профилей для анализа

- Многооконное представление рабочего пространства ПО, возможность размещать данные так, как необходимо пользователю

- Возможность автоматического определения шага и автосканирования, что может существенно упростить работу пользователей

- Таблица результатов поддерживает стандартное «копирование» и «вставку» ОС Windows и экспортируется в любую электронную таблицу (.xls, .csv, .xlsx, и т.д.)

- Возможность повторного анализа любого набора данных без дополнительных измерений
Широчайший спектр специальных возможностей

- 2D анализ напряжений: рассчитайте нагрузку на подложку, сравнив ее изгиб до и после обработки. Используйте модели аппроксимации полиномиальной кривой для расчета среднего, минимального и максимального напряжения в МПа.

- Предметный столик (140 мм) позволяет проводить XY-сканирование до 30 мм за один проход или до 80 мм с использованием стандартной функции сшивания нескольких профилей. Благодаря датчику малого усилия возможно измерение в Z-диапазоне до 800 мкм (опционально до 1,2 мм). Представленные решения обеспечивают высочайший уровень качества измерений на самых чувствительных тонких пленках и мягких образцах.

- Оптический датчик с разрешением ниже 1 A обеспечивает наиболее высокую прецизионность измерений. Благодаря ему возможны измерения высоты на уровне всего 1 нм при воспроизводимости 6Å или 0,1% (1σ) и минимальным уровнем шума (ниже 1 нм RMS).

- Многооконный интерфейс специализированного программного обеспечения позволяет пользователю постоянно получать и анализировать данные каждого сканирования. Панель управления, окна отображения данных, окно сканирования в реальном времени и окно результатов данных могут перемещаться или закрепляться в любом месте экрана. Эта функция дает пользователю полностью гибкую среду для сбора и анализа данных.

- и многое другое.

Расходные материалы и аксессуары

К расходным материалам и аксессуарам
Мы предлагаем широкий выбор расходных материалов и аксессуаров для зондовой атомно-силовой и электронной микроскопии по категориям:
Похожее оборудование
Голографические профилометры отраженного света
Идеальные инструменты для точных измерений оптической топографии большого разнообразия образцов.
Голографические профилометры проходящего света
Являются единственными в своем роде оптическими профилометрами, предназначенными для инспекции поверхности в проходящем свете.
Оптический профилометр KLA Zeta-20
Настольный оптический профилометр, оснащенный запатентованной технологией ZDot и гибкой многорежимной оптикой для измерений 3D топографии поверхности, толщины пленок и автоматического контроля дефектов.
Оптический профилометр KLA Zeta-300
Оптический профилометр для работы с крупными образцами, оснащенный запатентованной технологией ZDot и гибкой многорежимной оптикой для измерений 3D топографии поверхности, толщины пленок и автоматического контроля дефектов.
Оптический профилометр KLA Zeta-388
Напольный оптический профилометр с кассетной загрузкой для автоматической инспекции и метрологии, оснащенный запатентованной технологией ZDot и гибкой многорежимной оптикой для измерений 3D топографии поверхности, толщины пленок и автоматического контроля дефектов.
Оптический профилометр KLA-Tencor MicroXAM-800
Интерферометр белого света (профилометр) для 3D анализа топологии поверхности.
Оптический профилометр Profilm3D
Доступные по цене бесконтактные системы анализа 3D-рельефа поверхности на основе интерферометрии белого света (WLI).
Промышленные стилусные профилометры Toho FP
Датчик KLA-Tencor. Измерение профиля поверхности полупроводниковых пластин в широком диапазоне значений, с высокой степенью автоматизации.
Стилусный профилометр HRP-260
Стилусный профилометр KLA-Tencor HRP-260 для измерения профиля поверхности пластин до 200 мм.
Стилусный профилометр KLA-Tencor Alpha-Step D-600
Отличается возможностью размещения 200 мм пластин, наличию сервопривода предметного стола и опцией измерения механических напряжений, возникающих после нанесения тонких пленок.
Стилусный профилометр KLA-Tencor P-7
Платформа среднего класса, которая сочетает в себе все превосходные функции сканирования, присущие бренду KLA Instruments, производительность и одну из самых доступных цен среди аналогов.
Стилусный профилометр KLA-Tencor P-17
Представляют серию профилометров, специально разработанных для обеспечения потребностей мелкосерийных производств в профессиональном контроле.
Стилусный профилометр KLA-Tencor P-170
Кассетный профилометр, позволяющий проводить измерения в диапазоне от нескольких нанометров до одного миллиметра сразу у нескольких образцов в режиме 24/7.

Сервис и ремонт измерительного оборудования

Выезд сервис-инженера
В кратчайшие сроки к вам приедет наш сервисный инженер для проведения ремонта.
Сервисный договор
Обслуживание «под ключ»: график выездов, экстренные выезды,склад запчастей «быстрого реагирования».
Диагностика и ремонт
Ремонтируем аналитическое и лабораторное оборудование всех ведущих марок, как представляемых эксклюзивно нами, так и сторонних производителей.
Гарантия и качество
Большой опыт оказания услуг по сервисному обслуживанию и ремонту измерительного оборудования.
Сервис оборудования

ФОРМА ДЛЯ
ОБРАТНОЙ СВЯЗИ

Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.

Напишите свой вопрос, укажите интересующее оборудование.

Наша почта
sales@imc-systems.ru
Наш телефон
+7 (495) 374-04-01