Настольные стилусные профилометры Alpha-Step® D-500 KLA-Tencor Development Series предлагают наиболее полный набор решений для проведения качественных измерений с точностью достаточной как для научных исследований и разработок, так и для промышленного производства. Эти приборы являются достойными представителями в своем классе, при этом выгодно отличаются от аналогов качеством исполнения, функциональностью и метрологическими характеристиками.

Профилометр Alpha-Step® D-500 может быстро и качественно провести анализ 2D-топографии поверхности размером до 30 мм. Кроме того ее отличают:

  • широкий Z-диапазон (до 1,2 миллиметра);
  • разрешающая способность < 1 Å;
  • повторяемость шага по высоте – 6 Å или 0,1%;
  • 140-миллиметровый ручной столик для позиционирования образца по осям XY;
  • и многие другие функции.

Интерфейс специально разработанного ПО имеет многооконный режим и гибкие возможности настройки. Все рабочие окна программы независимы: панели управления и окна отображения данных, окно сканирования в реальном времени, окно результатов данных могут перемещаться или закрепляться в любом месте экрана. Эта функция дает пользователю полностью гибкую среду для сбора и анализа данных.

Диапазон сканирования: до 30 мм

Очень быстрый цикл измерений: загрузка образца, настройка и измерения

Возможность загрузки до 10 профилей для анализа

Многооконное представление рабочего пространства ПО, возможность размещать данные так, как необходимо пользователю

Возможность автоматического определения шага и автосканирования, что может существенно упростить работу пользователей

Таблица результатов поддерживает стандартное «копирование» и «вставку» ОС Windows и экспортируется в любую электронную таблицу (.xls, .csv, .xlsx, и т.д.)

Возможность повторного анализа любого набора данных без дополнительных измерений

Система Alpha-Step D-500 предоставляет широчайший спектр специальных возможностей, доступных для профилометра исследовательского класса:

  • 2D анализ напряжений: рассчитайте нагрузку на подложку, сравнив ее изгиб до и после обработки. Используйте модели аппроксимации полиномиальной кривой для расчета среднего, минимального и максимального напряжения в МПа.
  • Предметный столик (140 мм) позволяет проводить XY-сканирование до 30 мм за один проход или до 80 мм с использованием стандартной функции сшивания нескольких профилей. Благодаря датчику малого усилия возможно измерение в Z-диапазоне до 800 мкм (опционально до 1,2 мм). Представленные решения обеспечивают высочайший уровень качества измерений на самых чувствительных тонких пленках и мягких образцах.
  • Оптический датчик с разрешением ниже 1 A обеспечивает наиболее высокую прецизионность измерений. Благодаря ему возможны измерения высоты на уровне всего 1 нм при воспроизводимости 6Å или 0,1% (1σ) и минимальным уровнем шума (ниже 1 нм RMS).
  • Многооконный интерфейс специализированного программного обеспечения позволяет пользователю постоянно получать и анализировать данные каждого сканирования. Панель управления, окна отображения данных, окно сканирования в реальном времени и окно результатов данных могут перемещаться или закрепляться в любом месте экрана. Эта функция дает пользователю полностью гибкую среду для сбора и анализа данных.
  • и многое другое.

Alpha-Step® D-500 может выполнять широкий спектр измерений и приложений:

  • профиль (форма и текстура) поверхности
  • точная оценка высоты ступеньки
  • анализ тонких пленок
  • исследование биологических объектов
  • анализ MEMS
  • оценка параметров материалов
  • и многое другое

Техническое описание доступно по запросу, а так же на сайте производителя.