Единая система второго поколения для контроля поверхности и измерения фотолюминесценции, предназначенная для повышения эффективности определения характеристик дефектов в подложке и эпитаксиальном слое во время контроля силовых установок и аналогичных систем.
Внедрение автоматизированного контроля пластин и технологии статистического контроля производственных процессов (SPC) позволяет значительно сократить потери в выходе продукции, вызванные дефектами в эпитаксиальном слое, свести к минимуму отклонение реактора для химического осаждения из паров металлоорганических соединений (MOCVD) от номинальных параметров, а также увеличить срок службы реактора для MOCVD.
Предшественником системы Candela 8520 является Candela CS920, которая была первым в своем роде устройством, позволяющим обнаруживать как макродефекты, так и микродефекты на поверхности и в кристаллической решетке. В ней используется запатентованная оптическая технология, позволяющая одновременно измерять интенсивность рассеяния при изменяющихся углах падения, изменения топографии, коэффициент отражения поверхности, фазовый сдвиг волны и фотолюминесценцию с целью автоматического определения и классификации разнообразных дефектов (DOI).
- Автоматизированное обнаружение дефектов в материалах для силовых установок с целью улучшения контроля качества подложек, ускорения процесса выявления основных причин и улучшения управления процессом MOCVD.
- Универсальное решение, использующее несколько технологий оптического контроля во время одного цикла сканирования для максимизации эффективности автоматизированного обнаружения и классификации дефектов.
Высокая чувствительность к дефектам, влияющим на объем выпуска подложек из разнообразных сложных полупроводниковых материалов.
Карта дефектов используется для отображения расположения каждого дефекта на пластине при помощи цветовой кодировки.
На диаграмме Парето указано количество дефектов каждого типа.
В окне с общей информацией об обнаруженных дефектах (окно по умолчанию) отображаются статистические данные о дефектах на всей пластине.
В окне файла журнала регистрации дефектов (переключаемое окно) отображается подробная информация (в т. ч. место, размер пиксела, площадь и тип дефекта). Кроме того, в нем содержится информация о количестве дефектов каждого размера и общем количестве дефектов.
Отчет и файл журнала регистрации дефектов можно сохранить и использовать для анализа производства.
Кроме того, на компьютерах, не подключенных к Интернету, можно использовать программное обеспечение Candela 8520 для создания программ анализа.
К другим инструментам проектирования относятся наложение сетки на псевдоэлементы (для определения участка пластины, на котором возникли дефекты определенного типа), группировка дефектов по размерам, определение однородности поверхности, сортировка пластин на основании критерия успешного/неуспешного прохождения, отображение контуров дефектов на карте (для анализа пространственных признаков), вывод файла результатов KLARF, нанесение меток (для обозначения дефектов, требующих проверки) и настройка автоматизации производства.