
Candela 8520 – единая система второго поколения для контроля поверхности и измерения фотолюминесценции, предназначенная для повышения эффективности определения характеристик дефектов в подложке и эпитаксиальном слое во время контроля силовых установок и аналогичных систем.
Внедрение автоматизированного контроля пластин и технологии статистического контроля производственных процессов (SPC) позволяет значительно сократить потери в выходе продукции, вызванные дефектами в эпитаксиальном слое, свести к минимуму отклонение реактора для химического осаждения из паров металлоорганических соединений (MOCVD) от номинальных параметров, а также увеличить срок службы реактора для MOCVD.
Предшественником системы Candela 8520 является Candela CS920, которая была первым в своем роде устройством, позволяющим обнаруживать как макродефекты, так и микродефекты на поверхности и в кристаллической решетке. В ней используется запатентованная оптическая технология, позволяющая одновременно измерять интенсивность рассеяния при изменяющихся углах падения, изменения топографии, коэффициент отражения поверхности, фазовый сдвиг волны и фотолюминесценцию с целью автоматического определения и классификации разнообразных дефектов (DOI).