Candela 8520 – единая система второго поколения для контроля поверхности и измерения фотолюминесценции, предназначенная для повышения эффективности определения характеристик дефектов в подложке и эпитаксиальном слое во время контроля силовых установок и аналогичных систем.

Внедрение автоматизированного контроля пластин и технологии статистического контроля производственных процессов (SPC) позволяет значительно сократить потери в выходе продукции, вызванные дефектами в эпитаксиальном слое, свести к минимуму отклонение реактора для химического осаждения из паров металлоорганических соединений (MOCVD) от номинальных параметров, а также увеличить срок службы реактора для MOCVD.

Предшественником системы Candela 8520 является Candela CS920, которая была первым в своем роде устройством, позволяющим обнаруживать как макродефекты, так и микродефекты на поверхности и в кристаллической решетке. В ней используется запатентованная оптическая технология, позволяющая одновременно измерять интенсивность рассеяния при изменяющихся углах падения, изменения топографии, коэффициент отражения поверхности, фазовый сдвиг волны и фотолюминесценцию с целью автоматического определения и классификации разнообразных дефектов (DOI).

  • Автоматизированное обнаружение дефектов в материалах для силовых установок с целью улучшения контроля качества подложек, ускорения процесса выявления основных причин и улучшения управления процессом MOCVD.
  • Универсальное решение, использующее несколько технологий оптического контроля во время одного цикла сканирования для максимизации эффективности автоматизированного обнаружения и классификации дефектов.
  • Высокая чувствительность к дефектам, влияющим на объем выпуска подложек из разнообразных сложных полупроводниковых материалов.

Карта дефектов используется для отображения расположения каждого дефекта на пластине при помощи цветовой кодировки.

На диаграмме Парето указано количество дефектов каждого типа.

В окне с общей информацией об обнаруженных дефектах (окно по умолчанию) отображаются статистические данные о дефектах на всей пластине.

В окне файла журнала регистрации дефектов (переключаемое окно) отображается подробная информация (в т. ч. место, размер пиксела, площадь и тип дефекта). Кроме того, в нем содержится информация о количестве дефектов каждого размера и общем количестве дефектов.

Отчет и файл журнала регистрации дефектов можно сохранить и использовать для анализа производства.

Кроме того, на компьютерах, не подключенных к Интернету, можно использовать программное обеспечение Candela 8520 для создания программ анализа.

К другим инструментам проектирования относятся наложение сетки на псевдоэлементы (для определения участка пластины, на котором возникли дефекты определенного типа), группировка дефектов по размерам, определение однородности поверхности, сортировка пластин на основании критерия успешного/неуспешного прохождения, отображение контуров дефектов на карте (для анализа пространственных признаков), вывод файла результатов KLARF, нанесение меток (для обозначения дефектов, требующих проверки) и настройка автоматизации производства.

Использование нескольких каналов обнаружения в системе Candela 8520 позволяет быстрее выявлять проблемы, связанные с технологическим процессом, и обнаруживать дефекты, влияющие на объем выпуска. Данный метод контроля позволяет проанализировать всю поверхность за несколько минут, получить изображения с высоким разрешением, построить карты дефектов для пластин и автоматически классифицировать дефекты.

Так, например, система контроля Candela 8520 позволяет сохранять необработанные данные, полученные от нескольких детекторов. Характерные признаки дефектов, обнаруживаемые при помощи разных детекторов, могут различаться в зависимости от типа дефекта. Подобный подход помогает технологам точно классифицировать дефекты.

Данная установка позволяет обнаруживать и классифицировать макро- и микродефекты Классификация микродефектов выполняется на основании сравнения характерных оптических признаков, обнаруживаемых при попадании луча под прямым и острым углом к поверхности. Для классификации макродефектов используются характерные оптические признаки и характеристики дефектов.

Процессы, протекающие во время химического осаждения из паров металлоорганических соединений (MOCVD), являются причиной множества дефектов, возникающих во время эпитаксиального роста на разных материалах подложки (SiC, GaN и т. д.). Система Candela 8520 обладает высокой чувствительностью к общим дефектам, влияющим на объем выпуска, включая микроуглубления, трещины, шестиугольные выступы, капли, дефекты серповидной формы, царапины и другие топографические дефекты. Точная классификация играет важную роль при определении основных корректирующих действий по управлению процессом.

Благодаря высокой чувствительности, пропускной способности и универсальности система Candela 8520 является экономически выгодным решением, подходящим как для разработки производственного процесса, так и для контроля крупносерийного производства.

Техническое описание доступно по запросу, а так же на сайте производителя.