Установки измерения дефектности пластин

KLA Candela 8420

KLA Candela 8420
KLA Candela 8420
KLA Candela 8420
KLA Candela 8420

Описание оборудования

   Система может работать в трех режимах, подходящих для разных вариантов применения: высокая производительность, стандартное разрешение и высокое разрешение. В режиме высокой производительности систему Candela 8420 можно использовать в качестве простого счетчика частиц для контроля и оценки технологических инструментов.

   Использование нескольких каналов обнаружения в режиме усовершенствованной классификации/высокой чувствительности позволяет точно обнаружить и классифицировать дефекты по типам для выявления проблем, связанных с технологическим процессом, и обнаружения дефектов, влияющих на объем выпуска.

   Кроме того, на компьютерах, не подключенных к Интернету, можно использовать программное обеспечение Candela 8420 для создания разных типов программ анализа.

   Данный метод контроля позволяет проанализировать всю поверхность за несколько минут и получить изображение с высоким разрешением, построить карты дефектов пластин и автоматически классифицировать дефекты.

   Карта дефектов используется для отображения расположения каждого дефекта на пластине при помощи цветовой кодировки. На диаграмме Парето указано количество дефектов каждого типа. В окне с общей информацией об обнаруженных дефектах (окно по умолчанию) отображаются статистические данные о дефектах на всей пластине.

   В окне файла журнала регистрации дефектов отображается подробная информация (в т. ч. место, размер пиксела, площадь и тип дефекта). Кроме того, в нем содержится информация о количестве дефектов каждого размера и общем количестве дефектов. Отчет и файл журнала регистрации дефектов можно сохранить и использовать для анализа производства.

   К другим инструментам проектирования относятся наложение сетки на псевдоэлементы (для определения участка пластины, на котором возникли дефекты определенного типа), группировка дефектов по размерам, определение однородности поверхности, сравнение результатов до/после контроля (для анализа источника/степени распространения дефекта), сортировка пластин на основании критерия успешного/неуспешного прохождения, вывод файла результатов KLARF, нанесение меток (для обозначения дефектов, требующих проверки) и настройка автоматизации производства.

   Благодаря высокой чувствительности, пропускной способности и универсальности система Candela 8420 является экономически выгодным решением, подходящим как для разработки производственного процесса, так и для контроля крупносерийного производства.

Особенности

KLA Candela 8420

В стандартной технологии Candela используется запатентованная архитектура OSA (оптический профилометр), позволяющая одновременно измерять интенсивность рассеяния, изменения топографии, коэффициент отражения и фазовый сдвиг волны с целью автоматического определения и классификации разнообразных дефектов (DOI).

Система предназначена для работы с компонентами, используемыми в фотоэлектронных приборах, светодиодах, устройствах связи, а также со сложными полупроводниковыми материалами. В ней используется классическая технология Candela для многоканального обнаружения и группировки дефектов на основании заданных правил для повышения эффективности контроля при определении дефектов, влияющих на объем выпуска пластин с нанесенным слоем диэлектрика из разных материалов.

Расходные материалы и аксессуары

К расходным материалам и аксессуарам
Мы предлагаем широкий выбор расходных материалов и аксессуаров для зондовой атомно-силовой и электронной микроскопии по категориям:
Похожее оборудование
KLA Candela 8520
Единая система для контроля поверхности и измерения фотолюминесценции, предназначенная для повышения эффективности определения характеристик дефектов в подложке и эпитаксиальном слое во время контроля силовых установок и аналогичных систем.
KLA Candela 8720
Позволяет обнаруживать множество критически важных дефектов подложки и эпитаксиального слоя и может использоваться для компонентов светодиодов, фотоэлектронных приборов, устройств связи, а также сложных полупроводниковых материалов.
KLA-Tencor ICOS WI 2280
Система оптической инспекции критических дефектов и мониторинг качества изготовления устройств на полупроводниковых подложках
KLA-Tencor Surfscan 6400
Позволяет детектировать субмикронные частицы на шероховатых поверхностях и демонстрировать разрешающую способность <0,1 мкм на гладких поверхностях

Сервис и ремонт измерительного оборудования

Выезд сервис-инженера
В кратчайшие сроки к вам приедет наш сервисный инженер для проведения ремонта.
Сервисный договор
Обслуживание «под ключ»: график выездов, экстренные выезды,склад запчастей «быстрого реагирования».
Диагностика и ремонт
Ремонтируем аналитическое и лабораторное оборудование всех ведущих марок, как представляемых эксклюзивно нами, так и сторонних производителей.
Гарантия и качество
Большой опыт оказания услуг по сервисному обслуживанию и ремонту измерительного оборудования.
Сервис оборудования

ФОРМА ДЛЯ
ОБРАТНОЙ СВЯЗИ

Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.

Напишите свой вопрос, укажите интересующее оборудование.

Наша почта
sales@imc-systems.ru
Наш телефон
+7 (495) 374-04-01