«Группа Ай-Эм-Си» является официальным дистрибьютором KLA Corporation.
KLA-Tencor была образована в 1997 году в результате слияния компаний KLA Instruments (1975, производство полупроводникового оборудования) и Tencor Instruments (1977, решения в сфере метрологии измерений и контроля в производстве). 10 января 2019 года KLA-Tencor объявили о ребрендинге, новое название стало звучать KLA Corporation и девизом компании стало «Keep Looking Ahead».
На настоящий момент компания является мировым лидером в производстве полупроводниковых материалов и элементов наноэлектроники, а также в создании высокоточных измерительных инструментов для их анализа в сфере как производства, так и фундаментальных исследований
Огромный опыт производства научного и технологического оборудования для нужд науки и полупроводниковой промышленности позволил компании KLA Corporation занять лидирующие позиции в данном сегменте и предоставить заказчикам полный спектр систем профилометрии поверхности. Модельный ряд продукции фирмы включает в себя разнообразные приборы: от простых и компактных стилусных профилометров Alpha-Step™ IQ до сверхсовременных бесконтактных оптических профилометров MicroXAM-800.
Широкий спектр оборудования позволяет эффективно решать задачи в самых разных областях высокоточных производств и исследовательской деятельности и обеспечивает пользователю наилучшее соотношение цена качество. Все приборы, начиная с самых базовых, отличаются превосходными точностью и повторяемостью проводимых измерений. Благодаря чему оборудование успешно используется мировыми гигантами полупроводниковых производств и ведущими исследовательскими центрами по всему миру.
Основные характеристики, измеряемые с помощью профилометров:
- Толщина и однородность тонких пленок
- Шероховатость поверхности
- Профиль нанесения топологии на пластины
- Плоскостность, изгиб, завал края
- Дефекты обработки, качество ХМП
- Контроль поверхности перед эпитаксией
