Преимущества использования голографии в профилометрии поверхности
Измерения в режиме реального времени. Использование голографии позволяет получать информацию о всем поле кадра одновременно (без сканирования), что делает возможным анализ изменения топологии в реальном времени и позволяет исключить влияние посторонних вибраций. Такая стойкость позволяет получать субнанометровую разрешающую способность не только в условиях лаборатории с хорошей системой виброподавления, но и в условиях цеха, ЦЗЛ, по соседству с источниками акустических и механических вибраций.
Универсальность. Использование технологии голографической микроскопии открывает множество возможностей, недоступных с помощью других методик. Так например, возможность работать с поверхностями с коэффициентом отражения менее 1% делает их применимыми для очень широкого спектра материалов.
Динамический анализ работы микросистемной техники (МЭМС). Тот факт, что данные о поверхности собираются без сканирования, позволяет также исследовать работу разного рода микромеханических систем (МЭМС, МОЭМС). С совместным использованием специального стробоскопического прибора возможно исследование таких устройств на частотах до 25 МГц. Иными словами, перемещение микрозатворов, повороты микролинз и т.п. можно изучать не только в статическом положении, но и в ходе их нормального функционирования, причем перемещения могут одновременно измеряться и в нормальном, и в латеральном направлениях.
Оборудование предусматривает несколько базовых моделей, отличающихся каркасом основания, количеством лазеров и вертикальным диапазоном. При этом, каждая из моделей может быть доработана с учетом пожеланий клиента или встроена в уже существующий исследовательский комплекс, производственную линию.
