Назначение: детальное обследование поверхности полупроводниковых и оптоэлектронных материалов, позволяет контролировать технологический процесс и значительно повышать выход годной продукции.

Область применения: контроль как непрозрачных (Si, GaAs, и InP), так и прозрачных материалов (SiC, GaN, сапфир, стекло).

  • Четыре измерительные методики совмещенные в едином приборе
  • KLA Candela 8400 разработана с учетом промышленных стандартов на инспекцию поверхности в полупроводниковой отрасли и отрасли производства оптоэлектронных материалов
  • Пропускная способность контроля для пластин 2′ – 40 шт/час, для платин 8′ – 20 шт/час.
  • Продвинутые алгоритмы расшифровки результатов – возможность создания собственной библиотеки дефектов
  • Автоматизированный контроль производства светодиодных материалов, позволяющий повысить качество производимых подложек, увеличить выход годных изделий.

Контроль дефектности и неизменности условий технологического процесса являются критическими для производства идентичных изделий. Технологические загрязнения, такие как посторонние частицы или пятна могут приводить к изменению свойств покрытий и вызывать проблемы с адгезией промежуточных слоев. Поверхностные и подповерхностные дефекты, такие как микрокаверны, царапины, выступы, дефекты кристаллической структуры и прочие нерегулярности поверхности могут негативно сказаться при последующей обработке и ухудшить характристики изделий.

Candela CS20 является высокочувствительным измерительным оборудованием, которое может быть многократно использовано для контроля различных стадий контроля процесса производства в автоматическом режиме без необходимости длительного ручного контроля.

Продвинутые алгоритмы анализа поверхности

Запатентованная система анализатора оптической чувствительности комбинирует многоканальную детекторную систему для измерения рассеяния света, коэффициента отражения, фазового сдвига, а так же изменений топографии на поверхности пластины.

Система Candela 8420 быстро сканирует поверхность пластины и представляет информацию в виде изображения 100% поверхности пластины в высоком разрешении. Получаемое изображение позволяет измерение как характеристик всей пластины в целом, так и рассмотрение мелких дефектов.

Для инспекции поверхности многочисленные измерения делаются одновременно, а затем анализируются на предмет наличия дефектов и их классификации. Методика инспекции позволяет использовать переменные критерии распознавания визуальных образов дефектов.

Технологии KLA Corp.

Информационная брошюра KLA 8400