Электрохимический профилометр ECV-Pro

Измеряемые концентрации носителей заряда: 10¹³см^-3 — 10²⁰см^-3

Диапазон толщин: 0.05 – 50 мм

Разрешающая способность измерений по глубине — 1 нм

Диаметр измеряемых пластин — 2 — 6″

Установка ECV Pro UV предназначается для измерения распределения уровней легирования по глубине эпитаксиальной структуры на подложках из полупроводниковых материалов с подсветкой ультрафиолетом при травлении. Электрохимический профилометр использует хорошо подобранную систему электрохимического травления, с помощью которой материал может быть профилирован по любой глубине с управляемой и расчётной скоростью.