Электрохимический профилометр для спектроскопических исследований полупроводниковых материалов

Измеряемые концентрации носителей заряда: 1013см-3 — 1020см-3

Диапазон толщин: 0.05 – 50 мм

Разрешающая способность измерений по глубине — 1 нм

Диаметр измеряемых пластин — 2 — 6″

Установка ECV Pro UV предназначается для измерения распределения уровней легирования по глубине эпитаксиальной структуры на подложках из полупроводниковых материалов с подсветкой ультрафиолетом при травлении. Электрохимический профилометр использует хорошо подобранную систему электрохимического травления, с помощью которой материал может быть профилирован по любой глубине с управляемой и расчётной скоростью.

Onto Innovations core values

Техническое описание доступно по запросу, а так же на сайте производителя.