Четырехзондовые измерители

Cистема измерения электрического сопротивления четырехзондовым методом, является автоматизированной версией 280-й серии и предназначена для работы с кассетной загрузкой пластин

Настольная система для измерения удельного сопротивления серии 280I обладает широким функционалом, охватывающим большинство задач, связанных с измерением удельного сопротивления полупроводниковых пластин.

Компания 4 Dimension предлагает две модели ручных измерителей удельного сопротивления.

Простота использования и доступность в сочетании с высокой точностью и широким диапазоном измерений.

KLA-Tencor OmniMap RS100 — современная система для прецезионного измерения удельного сопротивления полупроводниковых пластин в широком диапазоне. Рассчитана на применение в условиях серийного производства, обладает функцией автоматической загрузки и сортировки пластин по результатам контроля, пригодна для измерений пластин до 300 мм.

Основанная на проверенных отраслевых стандартах удельного сопротивления, обеспечивает точное и надежное измерение удельного сопротивления при технологической норме от 45 нм и более. Эта система измерения удельного сопротивления обеспечивает такие функции, как современная автоматизация и улучшенная производительность для удовлетворения сегодняшних производственных требований для 300-мм пластин.

Ртутный манипулятор (зонд) широко используются в микроэлектронной индустрии для экспрессного контроля профиля легирования полупроводниковых пластин и параметров МДП-структур. Профилирование с помощью метода ртутного зонда является уникальным способом измерения электрических характеристик материалов и изделий в ходе производства полупроводниковых устройств.

Эта модель специально ориентирована на применение в производстве для контроля широкого спектра технологических операций. Система обеспечивает высокую пропускную способность контроля на уровне 100 пластин в час в режиме температурной компенсации, выставления пластины по уровню для 200 мм пластин.