Измерения электрических характеристик

280I-серия для измерения удельного сопротивления

280I-серия для измерения удельного сопротивления
Four Dimensions Inc.

Описание оборудования

Настольная система для измерения удельного сопротивления серии 280I обладает широким функционалом, охватывающим большинство задач, связанных с измерением удельного сопротивления полупроводниковых пластин. Продуманная конструкция и надежность позволяют осуществлять измерения с высокой точностью и воспроизводимостью. Компания 4 Dimension предлагает ряд конфигураций систем серии 280I:

  • 280 PI Базовое исполнение в серии. Автоматически измеряет 1, 5 и 9 областей контроля с возможностью выведения результатов на печать. Измерительный диапазон: 1 мОм – 800 кОм
  • 280 PCI В дополнение к функционалу 280 PI имеет возможность построения ВАХ, хранит в памяти до 15 программ проведения измерений, комплектуется отдельным персональным компьютером

  • 280 SI Комплектуется персональным компьютером под управлением ОС MS Windows, поддерживает хранение библиотеки методик контроля, ведение статистики измерений, измерения p-n переходов, поддержка интерфейса SECS-II, диагностики, а так же многих других функций

  • 280 TSI Имеет аналогичный функционал с 280 SI, дополненный температурной компенсацией

  • 280 TCI В дополнении к функциям 280 TSI имеет пакет статистического управления процессом

  • 280 DI В дополнении к функциям 280 SI обладают расширенным диапазоном измерений до 800 ГОм

  • 280 HCI Обладает аналогичными функциями с 280 TCI, дополнительно обладая высокотемпературной камерой


Особенности:
  • Программное обеспечение Automap 280I

  • Карта распределения удельного сопротивления по поверхности пластины

  • Тестирование p-n переходов

  • Измерение объемного сопротивления

  • Сканирование сопротивления по диаметру

  • Статистический анализ данных

  • Компенсация изменения толщины, температуры и краевых эффектов

  • Хранение данных в организованных библиотеках

Требования к помещению:
Потребление электроэнергии: 100 – 220 В, 50-60 Гц, 200 Вт
Вакуумный зажим: 20 мм. рт. ст.
Габаритные размеры (ДхШхВ): 547х508х635 мм


Измерительные головки:

В зависимости от задач предлагается широкий набор измерительных головок и наконечников.

Основные характеристики

Размеры пластин

50, 75, 100, 125, 200 мм

Размер мертвой зоны

3 мм от края пластины

Дополнения

Функция «быстрых» измерений

Шаг между измерениями

0,1 мм

Максимальное количество измерительных точек

6000

Измерительный диапазон

1 мОм – 8 ГОм

Воспроизводимость измерений

< 0,2%

Точность

< 0,1%

Разрядность АЦП измерителя тока

16 Бит

Прикладываемое напряжение

до 125 В

Расходные материалы и аксессуары

К расходным материалам и аксессуарам
Мы предлагаем широкий выбор расходных материалов и аксессуаров для зондовой атомно-силовой и электронной микроскопии по категориям:
Похожее оборудование
4Dimension 120-серия — Ручной измеритель удельного сопротивления
Многофункциональный измеритель сопротивления, идеально подходящий для проведения научно-исследовательской работы, связанной с измерением электрических характеристик материалов с высокой точностью.
233AC Измеритель электрического сопротивления
Система измерения электрического сопротивления четырехзондовым методом, является автоматизированной версией 280-й серии и предназначена для работы с кассетной загрузкой пластин.
Four Dimensions CVmap
Ртутные зонды, позволяющие проводить измерение электрических характеристик полупроводниковых пластин без нанесения металлизации.
KLA-Tencor RS-75
Эта модель специально ориентирована на применение в производстве для контроля широкого спектра технологических операций.
KLA-Tencor RS-100
Установка рассчитана на применение в условиях серийного производства, обладает функцией автоматической загрузки и сортировки пластин по результатам контроля, пригодна для измерений пластин до 300 мм.
KLA-Tencor RS-200
Полностью автоматическая работа обеспечивают улучшенные характеристики как для пластин 200 мм, так и 300 мм. Обеспечивает точное и надежное измерение удельного сопротивления при технологической норме от 45 нм и более.
Холловский измеритель HL9900
Предназначен для измерения удельного сопротивления, подвижности и концентрации носителей при комнатной температуре и при температуре жидкого азота в полупроводниковых структурах на основе Si, GaAs, InP, SiC, GaN.
Электрохимический профилометр ECV-Pro
Предназначен для спектроскопических исследований полупроводниковых материалов.

Сервис и ремонт измерительного оборудования

Выезд сервис-инженера
В кратчайшие сроки к вам приедет наш сервисный инженер для проведения ремонта.
Сервисный договор
Обслуживание «под ключ»: график выездов, экстренные выезды,склад запчастей «быстрого реагирования».
Диагностика и ремонт
Ремонтируем аналитическое и лабораторное оборудование всех ведущих марок, как представляемых эксклюзивно нами, так и сторонних производителей.
Гарантия и качество
Большой опыт оказания услуг по сервисному обслуживанию и ремонту измерительного оборудования.
Сервис оборудования

ФОРМА ДЛЯ
ОБРАТНОЙ СВЯЗИ

Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.

Напишите свой вопрос, укажите интересующее оборудование.

Наша почта
sales@imc-systems.ru
Наш телефон
+7 (495) 374-04-01