Краткие технические характеристики:

  • Размеры пластин: 50, 75, 100, 125, 200 мм
  • Размер мертвой зоны: 3 мм от края пластины
  • Функция «быстрых» измерений
  • Шаг между измерениями: 0,1 мм
  • Максимальное количество измерительных точек: 6000
  • Измерительный диапазон: 1 мОм – 8 ГОм
  • Воспроизводимость измерений: <0,2%
  • Точность: <0,1%
  • Разрядность АЦП измерителя тока: 16 Бит
  • Прикладываемое напряжение: до 125 В

Назначение: измерение электрических характеристик пластин с помощью четырехзондового метода.

Область применения: измерение удельного сопротивления полупроводниковых пластин.

Описание оборудования

Настольная система для измерения удельного сопротивления серии 280I обладает широким функционалом, охватывающим большинство задач, связанных с измерением удельного сопротивления полупроводниковых пластин. Продуманная конструкция и надежность позволяют осуществлять измерения с высокой точностью и воспроизводимостью. Компания 4 Dimension предлагает ряд конфигураций систем серии 280I:
280 PI Базовое исполнение в серии. Автоматически измеряет 1, 5 и 9 областей контроля с возможностью выведения результатов на печать. Измерительный диапазон – 1 мОм – 800 кОм
280 PCI В дополнение к функционалу 280 PI имеет возможность построения ВАХ, хранит в памяти до 15 программ проведения измерений, комплектуется отдельным персональным компьютером
280 SI Комплектуется персональным компьютером под управлением ОС MS Windows, поддерживает хранение библиотеки методик контроля, ведение статистики измерений, измерения p-n переходов, поддержка интерфейса SECS-II, диагностики, а так же многих других функций
280 TSI Имеет аналогичный функционал с 280 SI, дополненный температурной компенсацией
280 TCI В дополнении к функциям 280 TSI имеет пакет статистического управления процессом.
280 DI В дополнении к функциям 280 SI обладают расширенным диапазоном измерений до 800 ГОм
280 HCI Обладает аналогичными функциями с 280 TCI, дополнительно обладая высокотемпературной камерой

  • Программное обеспечение Automap 280I
  • Карта распределения удельного сопротивления по поверхности пластины
  • Тестирование p-n переходов
  • Измерение объемного сопротивления
  • Сканирование сопротивления по диаметру
  • Статистический анализ данных
  • Компенсация изменения толщины, температуры и краевых эффектов
  • Хранение данных в организованных библиотеках

Требования к помещению

Потребление электроэнергии: 100 – 220 В, 50-60 Гц, 200 Вт
Вакуумный зажим: 20 мм. рт. ст.
Габаритные размеры (ДхШхВ): 547х508х635 мм

Измерительные головки

В зависимости от задач предлагается широкий набор измерительных головок и наконечников.

Пустая вкладка. Отредактируйте страницу, чтобы добавить здесь контент.

Краткие технические характеристики:

  • Размеры пластин: 50, 75, 100, 125, 200 мм
  • Размер мертвой зоны: 3 мм от края пластины
  • Функция «быстрых» измерений
  • Шаг между измерениями: 0,1 мм
  • Максимальное количество измерительных точек: 6000
  • Измерительный диапазон: 1 мОм – 8 ГОм
  • Воспроизводимость измерений: <0,2%
  • Точность: <0,1%
  • Разрядность АЦП измерителя тока: 16 Бит
  • Прикладываемое напряжение: до 125 В