Краткие технические характеристики:
- Компактные габаритные размеры установки
- Перемещение пластин из кассеты в прибор и обратно без использования внешнего робота-манипулятора
- Автоматическое выравнивание пластин внутри оборудования
- Диапазон измерений от 1 мОм до 800 КОм (базовый), поддерживаются другие диапазоны до 8 ГОм
- Программное обеспечение AutoMap
- Поддержка протокола SECS-II
- Потребление электроэнергии 100 / 115 / 230 VAC, 50/60Hz, 1 kW
- Вакуумный зажим 20 мм.рт.ст.
- Габаритные размеры (ДхШхВ): 60х105.5х164.5 см